接触センサ - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2025年07月02日〜2025年07月29日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() 高速・高精度な厚み測定!プレシテック社 非接触センサ
100万円 ~ 500万円 |
【原理】 当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 ■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ) レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。 | 下記の厚み測定用途にご使用ください。 ウエハ、ドープウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルム、バッテリーホイル、塗膜、ウェットコーティング、ドライコーティング、防錆用の合金コーティング、蒸着膜、アルミニウムアルマイト、 亜鉛メッキ、燃料電池バイポーラプレート上コーティング、 | |
高速・高精度な厚み測定、形状測定に!プレシテック社 非接触センサ
100万円 ~ 500万円 |
【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。 色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて 高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 形状測定、厚み測定用センサがあります。100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。 形状測定、厚み測定に利用できます。 | ウエハ加工(研磨など)前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、TTV,平坦度、ワイヤボンディング形状、マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど | |
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- 代表製品
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高速・高精度な厚み測定!プレシテック社 非接触センサ
- 概要
- 【原理】 当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 ■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ) レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
- 用途/実績例
- 下記の厚み測定用途にご使用ください。 ウエハ、ドープウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルム、バッテリーホイル、塗膜、ウェットコーティング、ドライコーティング、防錆用の合金コーティング、蒸着膜、アルミニウムアルマイト、 亜鉛メッキ、燃料電池バイポーラプレート上コーティング、
高速・高精度な厚み測定、形状測定に!プレシテック社 非接触センサ
- 概要
- 【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。 色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて 高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 形状測定、厚み測定用センサがあります。100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。 形状測定、厚み測定に利用できます。
- 用途/実績例
- ウエハ加工(研磨など)前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、TTV,平坦度、ワイヤボンディング形状、マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど
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