欠陥検査装置 - 企業ランキング(全19社)

更新日：2025年04月23日集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
株式会社クボタ計装	所在地大阪府従業員数 248 事業内容クボタは、ロードセル（荷重センサ）を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。【取扱製品】　・デジタルロードセル　・LPG充填シリーズ　・台はかりシリーズ　・指示計　・トラックスケールシリーズ　・粉粒体機器　・防爆はかりシリーズ　・廃棄物計量システム　・ホイストスケール（吊りはかり）主要取引先	ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）応相談	【検出】方　　　式：　レーザー散乱方式および正反射方式検出サイズ：　PSL50nm(オプション追加で40nm)相当の欠陥【対象基板】種　　　類：　透明体を含む各種基板サ　イ　ズ：　２～１２inch、形状など別途相談に応じます【装置サイズ（8インチ）】外形寸法　：　W1,790 x D1,340 x H2,000 (mm) 質　　　量：　約1200kg
		ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』応相談	【主な仕様】（型式：LE-W1）検出方式　　：レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式検出欠陥　　：パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等対象素材　　：Si、SiC、GaN、LT、サファイア等対象サイズ　：2、4、6、8インチ（その他、別途ご相談）検査時間　　：約90秒／枚（4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む）レーザー波長：405nm 検査ピッチ　：5～30μm 結果出力　　：マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類機器寸法　　：W 1800×D 990×H 1490（mm）
		レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置応相談	【検出】方　　　式：　レーザー散乱方式および正反射方式検出サイズ：　PSL50nm相当の欠陥【レビュー機能】顕　微　鏡：　レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡【対象基板】種　　　類：　透明体を含む各種基板サ　イ　ズ：　２～１２inch、形状など別途相談に応じます【装置サイズ】外形寸法　：　W1,800 x D2,100 x H1,985 (mm) 質　　　量：　約1200kg
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株式会社クボタ計装

所在地

大阪府

従業員数

248

事業内容

クボタは、ロードセル（荷重センサ）を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。【取扱製品】　・デジタルロードセル　・LPG充填シリーズ　・台はかりシリーズ　・指示計　・トラックスケールシリーズ　・粉粒体機器　・防爆はかりシリーズ　・廃棄物計量システム　・ホイストスケール（吊りはかり）

主要取引先

代表製品

ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）

概要

【検出】方　　　式：　レーザー散乱方式および正反射方式検出サイズ：　PSL50nm(オプション追加で40nm)相当の欠陥【対象基板】種　　　類：　透明体を含む各種基板サ　イ　ズ：　２～１２inch、形状など別途相談に応じます【装置サイズ（8インチ）】外形寸法　：　W1,790 x D1,340 x H2,000 (mm) 質　　　量：　約1200kg

用途/実績例

ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

概要

【主な仕様】（型式：LE-W1）検出方式　　：レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式検出欠陥　　：パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等対象素材　　：Si、SiC、GaN、LT、サファイア等対象サイズ　：2、4、6、8インチ（その他、別途ご相談）検査時間　　：約90秒／枚（4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む）レーザー波長：405nm 検査ピッチ　：5～30μm 結果出力　　：マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類機器寸法　　：W 1800×D 990×H 1490（mm）

用途/実績例

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

概要

【検出】方　　　式：　レーザー散乱方式および正反射方式検出サイズ：　PSL50nm相当の欠陥【レビュー機能】顕　微　鏡：　レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡【対象基板】種　　　類：　透明体を含む各種基板サ　イ　ズ：　２～１２inch、形状など別途相談に応じます【装置サイズ】外形寸法　：　W1,800 x D2,100 x H1,985 (mm) 質　　　量：　約1200kg

用途/実績例
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