欠陥検査装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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欠陥検査装置 - 企業ランキング(全45社)

更新日: 集計期間:2025年12月03日〜2025年12月30日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【検出】 方   式: 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ: 0.3um(対物レンズ10倍使用時) 【対象基板】 種   類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 : W1,700...
【主な仕様】(型式:LE-W1) 検出方式  :レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥  :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材  :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ :2、4、6、8インチ (その他、別途ご相...
【検出】 方   式: レーザー散乱方式および正反射方式 検出サイズ: PSL50nm相当の欠陥 【レビュー機能】 顕 微 鏡: レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡 【対象基板】 種   類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 2~12inc...
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  1. 代表製品
    顕微鏡式ウェハ表面欠陥検査装置顕微鏡式ウェハ表面欠陥検査装置
    概要
    【検出】 方   式: 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ: 0.3um(対物レンズ10倍使用時) 【対象基板】 種   類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 : W1,700...
    用途/実績例
    レーザー式ウェハ表面欠陥検査装置 Laser Explorerレーザー式ウェハ表面欠陥検査装置 Laser Explorer
    概要
    【主な仕様】(型式:LE-W1) 検出方式  :レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥  :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材  :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ :2、4、6、8インチ (その他、別途ご相...
    用途/実績例
    レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
    概要
    【検出】 方   式: レーザー散乱方式および正反射方式 検出サイズ: PSL50nm相当の欠陥 【レビュー機能】 顕 微 鏡: レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡 【対象基板】 種   類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 2~12inc...
    用途/実績例