欠陥検査装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2025年12月03日〜2025年12月30日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
顕微鏡式ウェハ表面欠陥検査装置
応相談 |
【検出】 方 式: 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ: 0.3um(対物レンズ10倍使用時) 【対象基板】 種 類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 : W1,700... | ||
| 【主な仕様】(型式:LE-W1) 検出方式 :レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥 :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材 :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ :2、4、6、8インチ (その他、別途ご相... | |||
| 【検出】 方 式: レーザー散乱方式および正反射方式 検出サイズ: PSL50nm相当の欠陥 【レビュー機能】 顕 微 鏡: レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡 【対象基板】 種 類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 2~12inc... | |||
|
---
--- |
--- | --- | |
-
- 代表製品
-
顕微鏡式ウェハ表面欠陥検査装置
- 概要
- 【検出】 方 式: 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 検出サイズ: 0.3um(対物レンズ10倍使用時) 【対象基板】 種 類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます 【装置サイズ】 外形寸法 : W1,700...
- 用途/実績例
レーザー式ウェハ表面欠陥検査装置 Laser Explorer
- 概要
- 【主な仕様】(型式:LE-W1) 検出方式 :レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥 :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材 :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ :2、4、6、8インチ (その他、別途ご相...
- 用途/実績例
レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置
- 概要
- 【検出】 方 式: レーザー散乱方式および正反射方式 検出サイズ: PSL50nm相当の欠陥 【レビュー機能】 顕 微 鏡: レーザー顕微鏡(レーザー共焦点・白色干渉) or 微分干渉顕微鏡 【対象基板】 種 類: 透明体を含む各種基板 サ イ ズ: 2~12inc...
- 用途/実績例
-
すべてを閲覧するには会員登録(無料)が必要です。
すでに会員の方はこちら
株式会社クボタ計装