深さ測定器 - 企業ランキング(全10社)
更新日: 集計期間:2026年03月18日〜2026年04月14日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 広波長帯域の赤外線を干渉計に導き変調する。変調された赤外線を薄膜表面に照射すると、薄膜各層の界面から(多重)反射した光は光学干渉を起こす。干渉波形(インターフェログラム)は検出器にて観察され、これをフーリエ変換し反射率スペクトルを得る。この反射率スペクトルは既存のFTIR解析技術... | 特徴 ・膜厚測定スループット: 60 枚/ 1時間 (1パラメータ測定) 5点測定(パターン認識ありの場合) ・光学系: プローブスポットサイズ:200x800 μm または 70 μm φ 使用赤外光波長: 0.9-20 μm (NIRオプションあり) ・... | ||
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- 代表製品
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トレンチ深さ測定装置 IR2100
- 概要
- 広波長帯域の赤外線を干渉計に導き変調する。変調された赤外線を薄膜表面に照射すると、薄膜各層の界面から(多重)反射した光は光学干渉を起こす。干渉波形(インターフェログラム)は検出器にて観察され、これをフーリエ変換し反射率スペクトルを得る。この反射率スペクトルは既存のFTIR解析技術...
- 用途/実績例
- 特徴 ・膜厚測定スループット: 60 枚/ 1時間 (1パラメータ測定) 5点測定(パターン認識ありの場合) ・光学系: プローブスポットサイズ:200x800 μm または 70 μm φ 使用赤外光波長: 0.9-20 μm (NIRオプションあり) ・...
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