測定センサ - 企業ランキング(全18社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ◆オートレベルシステム2（ALS2） リアルタイムの振動とレベリングを高速化測定。 装置の検証を 迅速に行ない、装置の稼働率を向上 ◆オートティーチングシステム(ATS2) ウエハと同じように配置され、ウエハーの位置座標データ(XYZ)を高精度に測定します。 ◆オートギャップ測定システム（AGS） PECVDやドライエッチング、スパッタリング装置などの半導体プロセスチャンバーに使える真空互換性のある非接触ギャップ測定による平行性調整を実現 ◆オート振動システム(AVS) プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を測定する事ができます。 ◆気中パーティクルセンサ（APS） 0.14umからの気中パーティクルを迅速に見つけることにより、半導体プロセス装置や自動搬送システムのトラブルシューティングを効率よく行います。 装置を開けずに内部の清浄度をリアルタイムに検証できるので、プロセス環境をメンテ環境に露出しないで済みます。 ◆オートマルチセンサー (AMS) 振動とレベル、そして湿度を１つのパッケージに合体したマルチセンサーでスピーディな調整を実現 | 半導体プロセス装置内のウエハの位置決め、レベル出し、スペーシング調整、 加速度＆振動、パーティクルの測定に使用されています。 真空中で使用可能 リアルタイムでデータ取得可能 各種データが数値化されログの取得が可能 | ||
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株式会社スズキ
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- 代表製品
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ウエハーセンス サイバーオプティクス製 製造装置改善用測定センサ
- 概要
- ◆オートレベルシステム2（ALS2） リアルタイムの振動とレベリングを高速化測定。 装置の検証を 迅速に行ない、装置の稼働率を向上 ◆オートティーチングシステム(ATS2) ウエハと同じように配置され、ウエハーの位置座標データ(XYZ)を高精度に測定します。 ◆オートギャップ測定システム（AGS） PECVDやドライエッチング、スパッタリング装置などの半導体プロセスチャンバーに使える真空互換性のある非接触ギャップ測定による平行性調整を実現 ◆オート振動システム(AVS) プロセス装置の中を自動搬送させて3軸の加速度と振動を測定する事ができます。 ◆気中パーティクルセンサ（APS） 0.14umからの気中パーティクルを迅速に見つけることにより、半導体プロセス装置や自動搬送システムのトラブルシューティングを効率よく行います。 装置を開けずに内部の清浄度をリアルタイムに検証できるので、プロセス環境をメンテ環境に露出しないで済みます。 ◆オートマルチセンサー (AMS) 振動とレベル、そして湿度を１つのパッケージに合体したマルチセンサーでスピーディな調整を実現
- 用途/実績例
- 半導体プロセス装置内のウエハの位置決め、レベル出し、スペーシング調整、 加速度＆振動、パーティクルの測定に使用されています。 真空中で使用可能 リアルタイムでデータ取得可能 各種データが数値化されログの取得が可能
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株式会社スズキ
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