真空蒸着装置 - 企業ランキング(全20社)

更新日：2025年10月29日集計期間:2025年10月01日〜2025年10月28日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
テルモセラ・ジャパン株式会社本社	所在地東京都事業内容【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置主要取引先	真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』応相談	【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置構成モジュール】 ◉ 製作範囲抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー・026（26Litt...	主な用途・新素材/新材料の開発・先端技術開発・小規模試作生産など
		真空蒸着装置『MiniLab-080』応相談	【主仕様】・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可）・真空排気：真空/ベント自動制御・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源）・...	大学・企業研究室での各種基礎実験用途・光学薄膜・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜他
		真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）応相談	【主仕様】・最大基板サイズ：Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可）・真空排気：真空/ベント自動制御・抵抗加熱蒸着：最大4源（Mode...	大学・企業研究室での各種基礎実験用途・光学薄膜・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜他
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テルモセラ・ジャパン株式会社本社

所在地

東京都

事業内容

【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置

主要取引先

代表製品

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

概要

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置構成モジュール】 ◉ 製作範囲抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー・026（26Litt...

用途/実績例

主な用途・新素材/新材料の開発・先端技術開発・小規模試作生産など

真空蒸着装置『MiniLab-080』

概要

【主仕様】・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可）・真空排気：真空/ベント自動制御・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源）・...

用途/実績例

大学・企業研究室での各種基礎実験用途・光学薄膜・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜他

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

概要

【主仕様】・最大基板サイズ：Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可）・真空排気：真空/ベント自動制御・抵抗加熱蒸着：最大4源（Mode...

用途/実績例

大学・企業研究室での各種基礎実験用途・光学薄膜・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜他
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所在地

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事業内容

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