表面検査装置 - 企業ランキング(全11社)
更新日： 集計期間:2025年06月04日〜2025年07月01日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
フィルム表面検査装置
応相談 |
【装置構成】 （１）スーパーマクロ（ＳＭ－７５） ・ウェハ局所のシュリーレン画像観察 ・局所画像の合成処理によるウェハ全体画像 （２）微分干渉顕微画像ステーション ・ウェハ局所の暗視野顕、明視野顕微画像観察 （３）暗視野斜光画像ステーション ・局所ウェハ表面の暗視野斜光画像観察 （４）偏光透過画像ステーション ・局所ウェハ表面の偏光透過画像観察 （５）自動ステージ 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般 | ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般 | |
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ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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- 代表製品
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フィルム表面検査装置
- 概要
- 【装置構成】 （１）スーパーマクロ（ＳＭ－７５） ・ウェハ局所のシュリーレン画像観察 ・局所画像の合成処理によるウェハ全体画像 （２）微分干渉顕微画像ステーション ・ウェハ局所の暗視野顕、明視野顕微画像観察 （３）暗視野斜光画像ステーション ・局所ウェハ表面の暗視野斜光画像観察 （４）偏光透過画像ステーション ・局所ウェハ表面の偏光透過画像観察 （５）自動ステージ 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般
- 用途/実績例
- ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般
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ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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