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軸ロボット - 企業ランキング(全37社)

更新日： 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
神津精機株式会社 神津精機株式会社
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

100万円 ~ 500万円

 【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時） モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm 　θz軸±4.7°、θx軸±2.3°、θy軸±2.7° ■RSTZ-004 テーブルサイズ：Φ350mm 透過穴：Φ140mm 耐荷重：120kgf（均等荷重時） モータ型式： PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±9mm、Y軸±10.3mm、Z軸±4.5mm θz軸±4.3°、θx軸±2.1°、θy軸±2.4° ※複数軸方向に移動させる際は上記ストロークより範囲がせまくなります。 　　 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
超小型6軸マニピュレータ 『USM-R1C-001』
超小型6軸マニピュレータ 『USM-R1C-001』

100万円 ~ 500万円

 【仕様】 ■軸名称：X 　・移動範囲：±3mm 　・最高速度：10mm/sec ■軸名称：Y 　・移動範囲：±3mm 　・最高速度：10mm/sec ■軸名称：Z 　・移動範囲：±1.5mm 　・最高速度：2.5mm/sec ■軸名称：θ 　・移動範囲：±3° 　・最高速度：12.7°/sec ■軸名称：α 　・移動範囲：±3° 　・最高速度：9.6°/sec ■軸名称：β 　・移動範囲：±3° 　・最高速度：12°/sec
小型6軸マニピュレータ『MPS-SSSD-B010』
小型6軸マニピュレータ『MPS-SSSD-B010』

100万円 ~ 500万円

 【仕様(抜粋)】 ＜軸名称：X＞ ■移動範囲：±5mm ■最高速度：1mm/sec ■分解能：0.1μm ■ドライバ分解数：1/10
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  1. 神津精機株式会社 神津精機株式会社
    代表製品
    超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
    概要
    【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時） モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm 　θz軸±4.7°、θx軸±2.3°、θy軸±2.7° ■RSTZ-004 テーブルサイズ：Φ350mm 透過穴：Φ140mm 耐荷重：120kgf（均等荷重時） モータ型式： PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±9mm、Y軸±10.3mm、Z軸±4.5mm θz軸±4.3°、θx軸±2.1°、θy軸±2.4° ※複数軸方向に移動させる際は上記ストロークより範囲がせまくなります。 　　
    用途/実績例
    【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
    超小型6軸マニピュレータ 『USM-R1C-001』超小型6軸マニピュレータ 『USM-R1C-001』
    概要
    【仕様】 ■軸名称：X 　・移動範囲：±3mm 　・最高速度：10mm/sec ■軸名称：Y 　・移動範囲：±3mm 　・最高速度：10mm/sec ■軸名称：Z 　・移動範囲：±1.5mm 　・最高速度：2.5mm/sec ■軸名称：θ 　・移動範囲：±3° 　・最高速度：12.7°/sec ■軸名称：α 　・移動範囲：±3° 　・最高速度：9.6°/sec ■軸名称：β 　・移動範囲：±3° 　・最高速度：12°/sec
    用途/実績例
    小型6軸マニピュレータ『MPS-SSSD-B010』小型6軸マニピュレータ『MPS-SSSD-B010』
    概要
    【仕様(抜粋)】 ＜軸名称：X＞ ■移動範囲：±5mm ■最高速度：1mm/sec ■分解能：0.1μm ■ドライバ分解数：1/10
    用途/実績例
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