軸ロボット - 企業ランキング(全37社)
更新日: 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
100万円 ~ 500万円 |
【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±... | 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス | |
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
100万円 ~ 500万円 |
【仕様】 ■RSTA-005 ・テーブルサイズ:φ400mm(透過穴:φ230mm) ・移動範囲XY・θ:±3mm・2° ※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 ・テーブルサイズ:70mm×70mm ・移動範囲XY・θ:±3m... | 【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ | |
高荷重ゴニオメータ『MAX-Gシリーズ』
100万円 ~ 500万円 |
【仕様(一部)】 <MAX-G400> ■テーブル面直径:400mm ■中空径:230mm ■全高:152mm ■耐荷重(垂直):MAX10000N <MAX-G600> ■テーブル面直径:600mm ■中空径:350mm ■全高:180mm ■耐荷重(垂... | 【納入実績(一部)】 ■多軸型単結晶X線回析計「NZD-3」のγ(ガンマ)軸とω(オメガ)軸に「MAX-G400」を組み込み DESY(ドイツ電子シンクロトロン)に納入 | |
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- 代表製品
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超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
- 概要
- 【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±...
- 用途/実績例
- 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
- 概要
- 【仕様】 ■RSTA-005 ・テーブルサイズ:φ400mm(透過穴:φ230mm) ・移動範囲XY・θ:±3mm・2° ※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 ・テーブルサイズ:70mm×70mm ・移動範囲XY・θ:±3m...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
高荷重ゴニオメータ『MAX-Gシリーズ』
- 概要
- 【仕様(一部)】 <MAX-G400> ■テーブル面直径:400mm ■中空径:230mm ■全高:152mm ■耐荷重(垂直):MAX10000N <MAX-G600> ■テーブル面直径:600mm ■中空径:350mm ■全高:180mm ■耐荷重(垂...
- 用途/実績例
- 【納入実績(一部)】 ■多軸型単結晶X線回析計「NZD-3」のγ(ガンマ)軸とω(オメガ)軸に「MAX-G400」を組み込み DESY(ドイツ電子シンクロトロン)に納入
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神津精機株式会社