軸ロボット - 企業ランキング(全38社)
更新日: 集計期間:2026年09月30日〜2026年10月27日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
100万円 ~ 500万円 |
【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±... | 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス | |
超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
100万円 ~ 500万円 |
【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、 大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、 形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の... | 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント | |
手ぶれシミュレータ『TSSシリーズ』
100万円 ~ 500万円 |
【その他の特長】 ■サーボモータを採用することによる高応答・高精度・高分解能なピッチ・ヨー・ロール軸 (TSS-1000のみ)を搭載。各軸は共に同期駆動が可能 ■波形駆動・位置決め・ジョグ運転の動作モードを用意し、sin波の波形駆動であればPC無しで、 複雑な自由波形... | 【適用例】 ■ムービー ■デジタルカメラ ■スマートフォン ■監視カメラ | |
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- 代表製品
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超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
- 概要
- 【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±...
- 用途/実績例
- 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
- 概要
- 【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、 大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、 形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
手ぶれシミュレータ『TSSシリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■サーボモータを採用することによる高応答・高精度・高分解能なピッチ・ヨー・ロール軸 (TSS-1000のみ)を搭載。各軸は共に同期駆動が可能 ■波形駆動・位置決め・ジョグ運転の動作モードを用意し、sin波の波形駆動であればPC無しで、 複雑な自由波形...
- 用途/実績例
- 【適用例】 ■ムービー ■デジタルカメラ ■スマートフォン ■監視カメラ
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神津精機株式会社