非接触測定器 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() 非接触CV測定装置 Cn0CV
応相談 |
【特徴】 ■非接触CV/IVインライン測定 ■超高感度汚染管理(E8レベル鉄濃度測定) ■パタンモニター測定可能(SLモデル) ■PDM 【主な測定・評価項目】 ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定(E8レベル) ■膜評価 - 電気的膜厚(CET/EOT) - フラットバンド電圧(VFB) - 界面準位等(Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価 | ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定(E8レベル) ■膜評価 - 電気的膜厚(CET/EOT) - フラットバンド電圧(VFB) - 界面準位等(Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価 | |
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- 代表製品
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非接触CV測定装置 Cn0CV
- 概要
- 【特徴】 ■非接触CV/IVインライン測定 ■超高感度汚染管理(E8レベル鉄濃度測定) ■パタンモニター測定可能(SLモデル) ■PDM 【主な測定・評価項目】 ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定(E8レベル) ■膜評価 - 電気的膜厚(CET/EOT) - フラットバンド電圧(VFB) - 界面準位等(Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価
- 用途/実績例
- ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定(E8レベル) ■膜評価 - 電気的膜厚(CET/EOT) - フラットバンド電圧(VFB) - 界面準位等(Dit)の測定 - リークIV測定 - Epi抵抗率測定 - High-k評価 - Low-k評価
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