ターボ分子ポンプ - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる | 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 | ||
| 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる | 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 | ||
| 分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。 | 小型・軽量・高性能が必要とされる分析装置・計測システムへの搭載に対応します。 ■分析装置 質量分析装置 リークディテクタ 電子顕微鏡 ■小型分析装置 各種小型実験装置の排気 | ||
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株式会社大阪真空機器製作所
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- 代表製品
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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
- 概要
- 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
- 用途/実績例
- 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ
- 概要
- 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
- 用途/実績例
- 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置
分析・計測装置向けターボ分子ポンプ TG70F/240F
- 概要
- 分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。
- 用途/実績例
- 小型・軽量・高性能が必要とされる分析装置・計測システムへの搭載に対応します。 ■分析装置 質量分析装置 リークディテクタ 電子顕微鏡 ■小型分析装置 各種小型実験装置の排気
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株式会社大阪真空機器製作所
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