クライオポンプ - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年08月06日〜2025年09月02日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様】 ○窒素（L/s） 1,500 ○水（L/s） 4,200 ○アルゴン（L/s） 1,250 ○水素（L/s） 2,300 ○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.0 ○アルゴン排気容量（Std L） 1,200 ○水素排気容量（Std L） 25 ○クロスオーバー（Torr - L） 220 ○クールダウンタイム（分） 75 ○ポンプユニット重量（kg） 16.8 ○H寸法（mm) 516 ○メンテナンスサイクル（時間） 13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-8クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット | |||
クライオポンプ
応相談 |
特長 逆拡散のないクリーンな超高真空 クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。 スピーディーな排気で生産性を向上 到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。 オールマイティにすべての気体に対応 極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。（毒性、危険性ガスについては対策が必要） タテ、ヨコ取付け方向は自在 取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。 | 半導体製造における応用分野 スパッタリング装置／イオン注入装置／蒸着装置／エッチング装置／CVD等 物性・物理研究における応用分野 加速器／核融合装置／電子顕微鏡／分子線エピタキシャル装置（MBE）／スペースチャンバー／表面分析装置／イオンビーム測定装置 | |
| 【仕様】 ○窒素（L/s） 3,000 ○水（L/s） 6,300 ○アルゴン（L/s） 2,500 ○水素（L/s） 5,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.0 ○アルゴン排気容量（Std L） 1,600 ○水素排気容量（Std L） 30 ○クロスオーバー（Torr - L） 300 ○クールダウンタイム（分） 110 ○ポンプユニット重量（kg） 20 ○HxL寸法（mm) 181 x 591 ○メンテナンスサイクル（時間） 13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-250LPクライオポンプ（ISO 250） ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット | |||
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ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター
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- 代表製品
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クライオポンプ MARATHON CP-8 CRYOPUMP
- 概要
- 【仕様】 ○窒素（L/s） 1,500 ○水（L/s） 4,200 ○アルゴン（L/s） 1,250 ○水素（L/s） 2,300 ○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.0 ○アルゴン排気容量（Std L） 1,200 ○水素排気容量（Std L） 25 ○クロスオーバー（Torr - L） 220 ○クールダウンタイム（分） 75 ○ポンプユニット重量（kg） 16.8 ○H寸法（mm) 516 ○メンテナンスサイクル（時間） 13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-8クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット
- 用途/実績例
クライオポンプ
- 概要
- 特長 逆拡散のないクリーンな超高真空 クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。 スピーディーな排気で生産性を向上 到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。 オールマイティにすべての気体に対応 極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。（毒性、危険性ガスについては対策が必要） タテ、ヨコ取付け方向は自在 取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。
- 用途/実績例
- 半導体製造における応用分野 スパッタリング装置／イオン注入装置／蒸着装置／エッチング装置／CVD等 物性・物理研究における応用分野 加速器／核融合装置／電子顕微鏡／分子線エピタキシャル装置（MBE）／スペースチャンバー／表面分析装置／イオンビーム測定装置
クライオポンプ MARATHON CP-250LP
- 概要
- 【仕様】 ○窒素（L/s） 3,000 ○水（L/s） 6,300 ○アルゴン（L/s） 2,500 ○水素（L/s） 5,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.0 ○アルゴン排気容量（Std L） 1,600 ○水素排気容量（Std L） 30 ○クロスオーバー（Torr - L） 300 ○クールダウンタイム（分） 110 ○ポンプユニット重量（kg） 20 ○HxL寸法（mm) 181 x 591 ○メンテナンスサイクル（時間） 13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-250LPクライオポンプ（ISO 250） ○ヘリウム圧縮機（Zephyr（R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット
- 用途/実績例
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ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター
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