シート抵抗測定器 - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2025年07月30日〜2025年08月26日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ガラス基板サイズ：MAX 1,500mm×1,850mm （2,100mm×2,400mm程度まで対応可能） | TFT、EL(OLED)、CFなどのITO膜、各種メタル膜、n+a-Si膜など | ||
| 【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつでも対応可能 ◆通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応（オプション） ◆最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプション） ●対象サイズ：3インチ〜8インチ（12インチバージョンもございます） | シリコンウエハ、半導体プロセス膜（エピ、イオン注入、拡散など）、メタル膜、ITO膜、導電性セラミックなど | ||
| 【コンパクトで簡単操作の手動式非接触抵抗測定器】 ◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定 ◆測定レンジにより、4タイプのセンサー（SuperHigh、 High、Middle、Low）から1タイプを選択 ◆省スペース・コンパクト設計 ◆センサー部分をハンディプローブにしたモデル（EC-80P）もございます ●対象ウエハサイズ：2インチ〜8インチ | シリコンウエハ、GaAsエピ層、GaN、GaP、ITO膜、メタル膜など | ||
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ナプソン株式会社
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- 代表製品
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抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】
- 概要
- 【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ガラス基板サイズ：MAX 1,500mm×1,850mm （2,100mm×2,400mm程度まで対応可能）
- 用途/実績例
- TFT、EL(OLED)、CFなどのITO膜、各種メタル膜、n+a-Si膜など
抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】
- 概要
- 【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつでも対応可能 ◆通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応（オプション） ◆最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプション） ●対象サイズ：3インチ〜8インチ（12インチバージョンもございます）
- 用途/実績例
- シリコンウエハ、半導体プロセス膜（エピ、イオン注入、拡散など）、メタル膜、ITO膜、導電性セラミックなど
抵抗率／シート抵抗測定器 【EC-80】
- 概要
- 【コンパクトで簡単操作の手動式非接触抵抗測定器】 ◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定 ◆測定レンジにより、4タイプのセンサー（SuperHigh、 High、Middle、Low）から1タイプを選択 ◆省スペース・コンパクト設計 ◆センサー部分をハンディプローブにしたモデル（EC-80P）もございます ●対象ウエハサイズ：2インチ〜8インチ
- 用途/実績例
- シリコンウエハ、GaAsエピ層、GaN、GaP、ITO膜、メタル膜など
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ナプソン株式会社
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