チップ外観検査装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
ウエハ・チップ外観検査装置
応相談 |
【特長】 ○ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能 ○多様なパターンのチップの検査が可能 ○品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能 ○組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能（オプション） ○画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能 ○一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を 使用した検査が可能 ○オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備 ○厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能 （高速な高さ測定、高さ補正機能付き） ○全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり（オプション） ○シート越しでの裏面検査が可能（オプション） ○NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能 （オプション） ○廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しないHS-256Gもあります | 【検査対象ワーク】 ○ＬＥＤチップ、レーザーチップなど半導体チップ （チップサイズ：100µｍ～、各種パターンに対応） ○ウエハサイズ：2～8インチ（検査範囲Max 210mmの範囲内であれば可能） ○多様なリングやカセットに対応 | |
| （オプション仕様） ・ ローダー・アンローダー対応可能 ・ NGチップ排除機構対応可能 ・ 高さ補正を行いながら検査が可能 ・ NG箇所へのマーキング機構対応可能 ・ 排出ミス、マーキングミスの確認機構対応可能 ・ 2Dコード読み取り機構対応可能 ・ 供給時にワーク位置が安定しない場合の補正機能 ・ MAPデータの入力/出力 | 【検査対象ワーク】 ○ＬＥＤチップ、レーザーチップなど半導体チップ （チップサイズ：100µｍ～、各種パターンに対応） ○ウエハサイズ：2～8インチ（検査範囲Max 210mmの範囲内であれば可能） ○多様なリングやカセットに対応 | ||
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株式会社ヒューブレイン
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- 代表製品
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ウエハ・チップ外観検査装置
- 概要
- 【特長】 ○ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能 ○多様なパターンのチップの検査が可能 ○品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能 ○組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能（オプション） ○画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能 ○一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を 使用した検査が可能 ○オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備 ○厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能 （高速な高さ測定、高さ補正機能付き） ○全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり（オプション） ○シート越しでの裏面検査が可能（オプション） ○NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能 （オプション） ○廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しないHS-256Gもあります
- 用途/実績例
- 【検査対象ワーク】 ○ＬＥＤチップ、レーザーチップなど半導体チップ （チップサイズ：100µｍ～、各種パターンに対応） ○ウエハサイズ：2～8インチ（検査範囲Max 210mmの範囲内であれば可能） ○多様なリングやカセットに対応
「低価格版」ウエハ・チップ外観検査装置
- 概要
- （オプション仕様） ・ ローダー・アンローダー対応可能 ・ NGチップ排除機構対応可能 ・ 高さ補正を行いながら検査が可能 ・ NG箇所へのマーキング機構対応可能 ・ 排出ミス、マーキングミスの確認機構対応可能 ・ 2Dコード読み取り機構対応可能 ・ 供給時にワーク位置が安定しない場合の補正機能 ・ MAPデータの入力/出力
- 用途/実績例
- 【検査対象ワーク】 ○ＬＥＤチップ、レーザーチップなど半導体チップ （チップサイズ：100µｍ～、各種パターンに対応） ○ウエハサイズ：2～8インチ（検査範囲Max 210mmの範囲内であれば可能） ○多様なリングやカセットに対応
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株式会社ヒューブレイン
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