粉末用イオン注入装置
IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入(Ion Implantation)で表面改質を実施。
特徴 ･多種のガスが使用可能（Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス） ･装置はレシピで動作可能 ･PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 低温表面処理：元の材料特性が保持されます。 コーティング不要：イオンが深部までで注入されるため、表面は剥がれません。 部品の形状を尊重：追加の加工が不要です。 精密で局所的な表面処理：プロセスの最適化が可能です。 サンプルの電気伝導性：問いません。絶縁材料も処理可能です。 環境：ドライプロセスなので、化学的な廃棄物はありません。 イオン注入の効果 鋼材：表面硬化（ステンレス鋼で4倍）、優れた耐摩耗性。 ステンレス316L：摩擦係数が1/2に、ピッチング耐性が10倍に向上。 アルミニウム：表面硬化（7倍）、摩擦係数の大幅な低減、高い腐食抵抗性。 銅および銅合金：酸化および摩耗に対する強い耐性、表面硬化（4倍）。 金：表面硬化（7倍）、密度の増加、電気めっき層の気孔率の大幅な低減。
