ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300
モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。
モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。 ※8インチまでの対応もご提供可能です。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。
- 企業：株式会社テクノビジョン 本社
- 価格：応相談
