モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。
モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。 ※8インチまでの対応もご提供可能です。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。
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基本情報
■主な特長 0.1mmステップによる拡張ストローク設定 ・拡張率を任意に設定可能。 ・拡張スピードを任意に設定可能。 ・高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。 ・グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。 ■カスタマイズ 安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様．．．等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。
価格帯
納期
用途／実績例
ダイシング／分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング／分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| EX-300 | 12インチまで、装置寸法：750mm（W）× 760mm（D）× 615mm（H） |
カタログ（1）
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企業情報
株式会社テクノビジョンは、1987年9月創業以来、洗浄技術、組立技術をコアーに自社製品の開発、製造、輸出入業務に取り組んでおります。 今日のハイテク産業の中でお客様のニーズにお応えし、お客様の立場に立った視野で技術、製品、及びサービスの提供を目指していく所存でございます。