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レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに好適
■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レーザ光スキャニングに適しています
■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ
■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ 【横型タイプ】 ・本体の厚みを抑えた構造です。 ・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。 【縦型タイプ】 ・剛性が高く応答性を重視したタイプです。 ・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。 【箱型タイプ】 ・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。 ・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。 【鏡筒用】 ・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高1nmの分解能を備えたステージや、±20nmの繰り返し再現性を実現したステージを提供。1台からカスタムにも対応可能
製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。 当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして 20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。 さらに、カスタム設計にも積極的に対応しており、 規格品からでは選定が難しい場合にも用途に合った製品を提供可能です。 【ラインアップ】 ＜超精密ピエゾステージ＞ ■800μm以下の微小な領域において最高1nmの分解能と高速応答の超精密位置制御が可能 ■ミラー用チルトや対物フォーカス用など種類が豊富 ＜精密ピエゾモータステージ＞ ■25mmまでの移動量において±20nmの繰り返し再現性で信頼性の高い位置制御を実現 ■電源オフの状態でもセルフロッキングにより位置を保持 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
いま、顕微鏡で何番目の素子を見ているか分からなくなった・・・
【問題点】 ウェハや電子部品など整然と並んだ素子を顕微鏡で検査していると、不良箇所を見つけてもそれが何番目の素子か分からなくなることが良くある。 【改善事例】 マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置を管理できるので、現在検査している場所を間違えることがなくなります。 不良箇所にはマップ上にカラーマーキングしてあとでレポート出力すれば、結果を間違えることなく作業効率も改善します。
パレットに並んだ部品を、画像処理装置を使って良否判定の検査をしたい
【背景】 画像処理装置をシーケンサーでプログラムを組んで検査を行っていた。多品種少量生産のため頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 画像処理装置とXYステージを連動させて、不良箇所にはマップ上にカラーマーキングします。 画像処理装置の処理開始出力、良否判定入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でエアベアリング採用加工点が低く、 角度変化を最小限に抑制。 マグネットムーブ採用により、移動負荷を極限まで低減。 対磨耗性、温度変化に対応するため、セラミック素材も選択可能。 ウェハーの加工や超短パルスレーザー搭載に 最適な超精密位置決めステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
デバイスや電子機器などの圧縮、引張、および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化する万能試験機用オプション
『AT2自動XYステージ』は、新規または既存の5900および6800シリーズ 万能材料試験機に取り付けて、デバイスや電子機器などの圧縮、引張、 および曲げ試験など、繰り返し試験を自動化することができます。 このシステムは、幅広い材料、デバイス、電子機器を試験するために、 メディカル産業や電子産業で広く採用。 挿抜試験や精密な曲げ試験など、迅速に再現性のある結果を提供し、 柔軟性が高く、多くの試験片、デバイス、電子機器の試験などに 適応することができます。 【特長】 ■オペレーターを介在させずに複数の試験片の試験をすることが可能 ■サンプルの処理にかかる全体的な試験時間が短縮 ■熟練のオペレーターが他の重要なタスクに焦点を当てることができ、 能率を向上し結果を導きだすことができる ■繰り返し動作を最小限に抑え、試験システムとの物理的な相互作用を 減らし、オペレーターの負担を軽減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3方向取付可能！出っ張りの無いスクエアデザインの小型3軸ゴニオステージ
『AGS 3シリーズ』は、新しい発想の3軸一体ゴニオステージです。 部品交換だけでワークディスタンスの変更が可能で、外形の変更も 必要がありません。 また、使いやすいパルスモータ駆動で、各軸独立動作が可能です。 手動タイプもご用意しております。 【特長】 ■高剛性、超小型(モーター込み体積比 他社の1/8) ■圧倒的回転中心精度(他社の数十分の一) ■各軸独立動作可能 ■使いやすいパルスモータ駆動 ■部品交換だけでワークディスタンスの変更が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パネル形状の透明ガラスヒーターをユニット化
・透明なまま発熱するパネル形状のガラスヒーターをホルダに組み込み、各種サイズにてユニット化しました。 ・温度制御装置が付属しているので、届いたその日から直ぐに使えます。 ・部品ごとに在庫していますので短納期で対応します。特注にも対応可能です。
ワイヤボンダステージ
ワイヤボンドステージをカスタムにて製作。サイズ、温度、クランパ、回転機能など貴社の生産に合わせて製作対応可能です。
精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに！！サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。
サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ（±1℃、±0.5℃）◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ（平坦度）◎温度設定範囲15-40℃。
超薄型で様々なアプリケーションに適合！50-250℃までの設定が可能です。MSA一番人気の製品です！！
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
