更新日： 集計期間:2025年06月04日～2025年07月01日
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ラックピニオンステージや粗微動ステージなど、多彩なラインアップをご紹介
当カタログでは、機械要素部品である「ステージ」について 多数掲載しております。 移動ガイドはアリ溝方式を採用した小型X軸ラックピニオンステージの 「TAR-X」をはじめに、粗動・微動ができる回転ステージ「TKSP/TAKS」、 微動送りにねじを使用したXY軸ねじ送りステージ「TAS-XY」など 豊富なラインアップをご用意。 製品選定の際に大変便利な一冊ですので、ぜひご一読ください。 【掲載製品(一部)】 ■ラックピニオンステージ ■粗微動ステージ ■ねじ送りステージ ■ブロックステージ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ
WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。 300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。 より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。 120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
近年、レーザー加工で求められる>45°のレーザー入射角。ALIO Industries社からの提案が5D Laser Ginbalとなります。 高精度ジンバル駆動+高精度モノリシックXY+ Z軸のコンビネーションの一見、複雑な駆動系を多軸補間をコントローラーに埋め込むことにより、 ユーザーはシンプルなGUIで高速・高精度のステージとレーザー(On/off, Power等)の同期制御が可能となります。
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
MAUKA は、最大 5 kg の耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 直径は 107 mm、中間位置での高さは 198 mm です。直径を最小限に抑えるために、モーターが一列に取り付けられるヘキサグライド形状を使用しました。 MAUKA は、垂直、水平、またはその他の角度のあらゆる方向に動作します。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびにホーミング コマンドを実行する必要がありません。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
HEGOAはサイズが小さく (42 cm)、耐荷重50kg、重量が軽いため、他のヘキサポッドと比較して、設置と使用が最も容易です。さらに、大型ヘキサポッドよりも手頃な価格です。 海軍分野、航空宇宙、自動車分野 (自動運転車用センサー、AdBlue タンク テスト)、または安定化テストなど、産業分野での動的アプリケーションに最適です。また、研究室や医療用途 (神経学、運動学) にも使用できます。
500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
SURES は、非常に高精度で剛性の高い位置決めシステムです。 最大 500 kg の搭載物を高分解能 で調整およびセットアップできます。宇宙、天文学、望遠鏡の分野に特に適しています。 たとえば、地上の望遠鏡のミラーを正しく再調整して、重力の変化や夜間の温度変化による構造の変形を補正することができます。地上望遠鏡のほとんどは標高の高い山の頂上に設置されているため、SURES の機構と電子部品は寒冷環境でも動作するように設計されています。
ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
MISTRALは、重要な直線移動および角度移動範囲 (直線移動で最大 ±460 mm、角度移動で ±40°) で最大 1 トンの荷重のモーション生成を可能にします。ボートの船体をテストするためにヒーブモーションを実現するために最初に設計されました。陸上、海軍、または航空の乗り物の軌道を再現することもできるため、その後搭載されるセンサー、電気光学システムなどの実験室テストが可能になります。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動きを研究したり、運動モデルに設定したり、車両をシミュレートしたりするために使用できます。 このソリューションは、運動発生器から独立した 6 自由度の測定システムを統合することができ、可動テーブルの位置をリアルタイムで制御することが可能になります。
パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
AQUILON は、ラインナップの中で最も耐荷重の大きいヘキサポッドです。 6トンの重さを動かせます。 必要に応じて、より高いペイロード容量を備えたバージョンを実現できます。 AQUILON は主にうねりシミュレーション、スロッシング、防御 (砲塔テスト) アプリケーションに使用されます。
ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現
A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。
最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。
