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ＺＡ－５００Ｌは、垂直テーブル面をｚ軸方向に移動可能な大型ステージです。ロングストローク４２３ｍｍの移動が可能です。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて使用します。構造はシンプルでストローク４２３ｍｍを素早く移動可能なＺ軸ステージです。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学常盤への接続が可能です。ストローク変更などの改良にも対応しておりますので、お気軽にお問い合わせください。
Ｚ軸ステージを搭載したＵＶ接着治具
カメラモジュールの筐体と基板をＵＶ接着しています。 生産するカメラモジュールの機種が変わるたびにＵＶ接着器のヘッド高さと位置の変更が必要です。 このカメラモジュールの場合は、接着部とヘッドの距離が15mmになるように設定しています。 ヘッド高さの変更は、ボルトを緩めてヘッドを取付けたベースを長穴に沿ってスライドさせた後、ボルトを締めて固定します。 ボルトを緩めたり締めたりしなければならずとても面倒な作業です。 【特徴】 ○長いストロークを規則的なピッチでなめらかに摺動し、 狭い空間でも大変便利 ○ステージ面 ： 25mm×40mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Ｚ軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。 ［特 長］ ■小型・高剛性 クサビ形機構により小型ながら高剛性 ■多機能 ３点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載 ■高精度 高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能 ※ 弊社製球面軸受（SRJ）とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。 ●詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ
WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。 300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。 より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。 120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に好適！透過照明にも対応できるXY軸ステージ
『PTシリーズ』は、顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に適した 高精度・超薄型タイプの顕微鏡用XYステージです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 またポジションコントローラCP-500、アナログジョイスティックCP-5Jを用いて、 拡大観察に関連する幅広い用途に対応することができます。 【特長】 ■すべての自動ステージに検査成績書を無償添付 ■仕様に合わせたフルカスタム対応可能 ■すぐに使える簡単アプリケーションをご用意 ■アプリケーションシステムとしても提案可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。 テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。 内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が 実現できます。
高精度リニヤステージ 透過型ステージ
ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用！ステージ高さ120mmに押さえた薄型タイプ
当社が製作した「高さ合わせ用自動大型Z軸ステージ」をご紹介いたします。 過半重量100kg、テーブルサイズ□400mm、ステージ高さ120mmに押さえた 薄型タイプ。ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用される水平面移動型 自動Z軸ユニットとなっております。 また、既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させています。 【特長】 ■過半重量100kg、テーブルサイズ□400mm、 ステージ高さ120mmに押さえた薄型タイプ ■ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用される、 水平面移動型自動Z軸ユニット ■既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学測定・半導体検査向け。高剛性Z軸制御で高倍率観察時の焦点ズレを低減
V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。
精密かつ高剛性の「ミリオンガイド 」を採用したZ軸ステージ・FA用ガイドです。
フランジタイプで昇降ステージに最適なZ軸ガイドです。 ニードルローラを使用したミリオンガイドの採用により、突入時の衝突・摩擦・振動を軽減し高精度な直進性を実現しています。
サブナノメートルの分解能を提供。0.1nm分解能・高リニアリティ垂直ポジショニング
半導体業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハ検査や微細構造の計測においては、サブナノレベルの安定性と高速な制御が不可欠です。位置決めの誤差は、計測結果の信頼性を損ない、歩留まりの低下につながる可能性があります。本製品は、0.1 nmの分解能と0.02 %の直線性により、半導体計測における高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・微細構造計測 ・干渉計 ・共焦点顕微鏡 【導入の効果】 ・計測精度の大幅な向上 ・歩留まりの改善 ・高速かつ高精度な位置決め ・サブナノレベルの安定性 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
