高耐荷重 Zステージ SZ200
レイアウトに合わせたステージの制作が可能!
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 (10~30kg) タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業:株式会社MSAファクトリー
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年10月08日~2025年11月04日
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レイアウトに合わせたステージの制作が可能!
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 (10~30kg) タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め調整するための手動5軸位置決めステージです。 XYZ軸の他、傾斜角度とズームレンズの遠近調整が可能です。
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。
X、XY、XYZ、θ等、数多く取揃え!モーターに対応するコントローラーも提供
『ピエゾモーターステージ』は、オーテックスが取り扱うNANOS社の製品です。 ナノスインストゥルメンツ社は、ピエゾモーター社のピエゾモーターを 利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。 ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多くの 品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだ クローズドループタイプにも対応しています。 【特長】 ■各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作 ■X、XY、XYZ、θ等、数多くの品数をラインアップ ■オープンループやクローズドループタイプにも対応 ■モーターに対応するコントローラーもご提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1%のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、X軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
コンパクトで高精度!筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」は薄型筐体でありながらも高剛性があります。 最大耐荷重25kgまで対応しております。 【特長】 ■軽量 ■コンパクト ■高精度 ■水平面Zくさび方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
案内ガイド一体構造で薄型を実現!豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
積み重ね多軸ステージとの比較解説・7つの応用事例・ヘキサポッドの簡易比較表
PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。 <ヘキサポッドの特徴> ・回転中心を任意位置に簡単設定 ・パラレル駆動で累積誤差がない ・コンパクトで高剛性で高安定性 ・設置向きが任意でも可能 など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてください。 ヘキサポッドの動画もございます。
■位置決めステージ相談はHIWINへ■クロス型・ガントリー型からエアベアリングなど、単軸~多軸位置決めステージを提供します
単軸ステージを組合せたXY2軸ステージやガントリー型、XYZ直交座標ロボット、さらには高精度エアベアリングステージなど、各種標準型のほか、ニーズに合わせたカスタム提案をいたします。 すべて自社製のキーコンポーネント(リニアモーター・リニアガイド・ボールねじ・DDモーター・サーボモーターやドライバー)を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザーの競争力を高めるお手伝いをいたします。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。
コンパクトで豊富なラインナップ!用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm~300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3次元解析や欠陥マップ表示などが可能!目的に応じた専用測定プログラムを設計開発
インラインプロファイル測定用多目的3軸ステージを 使った測定装置のご紹介です。 インラインプロファイル測定器と組み合わせ、目的に 応じた専用測定プログラムを設計開発致します。 3次元解析や欠陥マップ表示などが可能です。 【制御方式】 ■専用コントローラ ・制御プログラムを利用せずに簡単操作 ■CC-Link ・PLCによる制御で専用機 ■RS-232C ・PCによる制御で専用機 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電子基板、電子部品、精密エッチング、半導体ウェハなどの検査に好適!
当製品は、EasyInspector2/DeepSkyと組み合わせて使用可能な 画像検査用のXYZ軸ステージです。 電子部品や精密エッチングなど目視では確認しづらい細かな 検査等で使用可能。 多数の検査ポイントを効率的に設定でき、オートフォーカスにも 対応しています。 【特長】 ■多数の検査ポイントを効率よく設定できる ■検査開始前のアラインメント作業も簡単 ■オートフォーカス機能により、常に鮮明な画像で検査を実行 ■撮像した画像を保存可能。ポイントごとのOK/NGをCSVデータとして保存可能 ■検査の条件により様々な照明、カメラの取り付けが可能 ■XYZの調整幅が広い為、検査対象の幅が広がる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
世界最小クラスの超小型マイクロポジショナーステージ
物理実験や光学システムでの直線移動用のシンプルなアジャスターを備えた超小型マイクロポジショナーです。 オプションとアクセサリーが豊富で、ポストマウント、ファイバーホルダー、低磁性、真空対応、ローレットノブアジャスター付きも可能。
60 mm幅・最大動作量200 mm、オプションで折返し駆動タイプ、保持ブレーキタイプ
動作量は、25〜200 mmまで6種をラインアップ ・2相ステッピングモーター駆動で、精密ボールねじ、循環ボールベアリング内蔵 ・最大速度:80mm/s ・最小動作量:0.3µm~、再現性:2µm~ ・耐荷重:150N ・折り畳み駆動タイプは、設置面積を削減 ・垂直動作用に保持ブレーキ付モデル ・リニアエンコーダ(オプション) ・XY軸、XYZ軸などにも拡張可能 レーザー加工、試験・検査、電子機器製造、光ケーブル製造、光学アセンブリ、シリコンフォトニクスなどに最適。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。