半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！
◆超精密位置決めに最適なステージ！ ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。
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基本情報
◆非接触＆超精密加工で高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現！ 非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。 また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め／繰り返し精度と極めて高い運動精度を実現しています（※）。 （※）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
◆用途 露光装置などの半導体製造装置 半導体検査装置 光学モジュールや半導体組立装置 精密計測器 ◆製作実績-1 (添付画像参照) ステージ形式セラミックス製XYZ 3軸積み重ね 駆動方式粗動：ボールねじ 微動：PZT（ピエゾ） エンコーダ光学式リニアエンコーダ ストロークX,Y: 10mm Z: 5mm 繰返し精度X, Y, Z: ±0.01µm以下 ◆製作実績-2 (添付画像参照) ステージ形式セラミックス製XYZθ エアスライドステージ エンコーダX, Y: レーザ干渉計 Z, θ: 光学式リニアエンコーダ ストロークX, Y: 300mm Z: 7mm 位置決め精度X, Y: ±1.0µm/300mm 繰り返し精度X, Y: ±0.1µm 真直度X, Y: ±0.2µm以下/300mm 直交度X, Y: ±0.5µm以下/300mm
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企業情報
1991 年9月、株式会社ピーエムティーは半導体製造装置の総合商社として創業しました。 その後、部品加工、金型の設計･製作を経て超精密軸制御技術を確立。 これを自社の強みとし、ナノステージシステムをはじめNC 微細加工機やマスクレス露光装置など様々な機械･装置に応用展開してきました。 現在ではライフサイエンス分野に特化した自動化システムや、製造現場の課題を解決するロボティクス事業にも着手し、業界分野の垣根を超えたモノづくりを続けています。 合言葉は、「ピーエムティーと、何創ろう」。 まずはお客様のご要望をお聞かせください。
