更新日： 集計期間:2026年01月14日～2026年02月10日
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ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
当資料は、半導体業界における測定器・変位センサの改善事例集です。 ウェハダイシング深さ測定やBGAバンプの形状測定、スパッタリング ターゲットの磨耗量測定、真空チャンバ内アーム曲がり測定、モールド 前のチップの高さ測定など、様々な事例を掲載。 その他にも、当社で取り扱う、測定器・変位センサもご紹介しており、 製品選定の際に参考になる一冊となっております。 【掲載事例(一部)】 ■ウェハZ軸位置決め ■ウェハ厚み測定 ■ウェハダイシング深さ測定 ■BGAバンプの形状測定 ■ワイヤボンディング高さ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。
誘導型 位置センサー LVITは、コンタクトレス動作のセンサーです。 低コスト、頑丈な構造で、優れたストローク対長さ比率です。 測定範囲: 25～200 mm 出力: 10 Vあるいは、4-20 mA LDI-119シリーズ: 直径11mm ハウジングコンパクトタイプ LDI-127シリーズ: 直径27mm ハウジング 特に頑丈なタイプ
高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています！！
高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ
高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！ 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください！！
計算がいらないX,Y,Z軸の位置決め装置。平行出し、距離測定にも使える！ 振り回しをつくる必要もありません。※カタログ有り
HAIMER 3Dセンサーはフライス盤、放電加工機等(絶縁プローブ)のための大変精密で多彩な測定装置です。 ツールホルダー・機械の主軸に取り付けられ、機械主軸が加工物側面上に位置決めすることができます。 ダイヤルゲージの針を「０」に設定し、寸法を迅速且つ簡単に測定できます。 XYZ軸のどの方向にも測定できます。 ダイヤルゲージの針が「０」を指した状態は、機械主軸が加工物側面上に位置していることを意味します。 【活用メリット】 ・X,Y,Zの測定時に付け替え不要のため、位置決め時間を削減 ・測定手順の削減によるミスの防止 ・ノギスでは測れない長尺物の測定にも使用可能 説明動画 https://www.youtube.com/watch?v=dfkuPNfbTwY ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現
当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や 『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。 高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど 様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。 クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。 非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。 【製品ラインアップ】 『ナノ位置決めステージ』 ■高真空・超真空対応 ■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め ■最大6軸までのステージを構築可能 『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』 ■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能 ■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離 ■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
最大500mまでの距離を精度±１mmで測定可能！ 工場内をX/Y座標化により位置制御化、衝突防止の制御など工場内自動化をサポート
『D-シリーズ」は、最大５００ｍまでの距離を高精度で計測が可能な小型軽量レーザー距離センサーです。 ・既存の天井クレーンに取り付け、工場内をＸ/Ｙ座標化にて自動化に貢献 ・製品の長さ、厚さを遠隔にて計測 当製品は、IP65準拠しており-40℃～+60℃の環境でも測定可能。 さらに、99台まで同時接続することができます。(RS422/RS485) 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社のレーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５ｍ作動距離。幅広い材質に対応。
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理（QC）や品質保証（QA）の達成に貢献します。 【特長】 ■ピコオーダー分解能 ■広い作動距離範囲：数ミリメートルから最大5メートル ■高磁場、超高真空対応可能 ■モジュール式セットアップ ■超コンパクトなセンサヘッド ■3軸（X,Y, Z）構成可能 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。
チルト（θX,θY）、変位（Z）、位置（X,Y）5項目同時高精度高速測定
開発の背景 スマートフォンカメラのOISレンズアクチュエータを1台で測定できないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。 従来はX, Y, Zをそれぞれレーザ変位計3台で、傾斜をオートコリメータ1台で測定する方式でしたが、この方式では4台分の設置スペースが必要、センサ間の位置合わせが必要、管理が必要など問題がありました。そこで当社はオートコリメータ法（傾斜）、三角測量法（高さ）に加え、ビジョンセンサ（ポジション）を組み合わせた製品を開発することでこの問題を解決いたしました。 特長 ・三角測量技術、位置測定技術、角度測定技術を一台のセンサに ・優れた繰り返し精度と高い精度のリニアリティ ・高い作業性を持つ幅広いワーキングディスタンス
チルト2軸、変位、位置2軸、回転の６軸を一方向からたった一台で高速同時測定
開発の背景 スマートフォンのカメラモジュールのセンサーシフト方式のOISを1台で測定できないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。 センサーシフト方式のOISはアクチュエータがX-Yに加えて回転方向にも補正軸を持っているのが特長です。高速5次元センサとオートコリメータを用いて測定する方法もありますが、2台分の設置スペースが必要、センサ間の位置合わせが必要、管理が必要など問題がありました。そこで当社は5次元センサのオートコリメータ法（傾斜）、三角測量法（高さ）、ビジョンセンサ（ポジション）に加え、回転角度検出光学系を組み合わせた製品を開発することでこの問題を解決いたしました。 特長 ・三角測量技術、位置測定技術、3軸角度測定技術を一つのセンサに ・優れた繰り返し精度と高い精度のリニアリティ ・高い作業性を持つ幅広いワーキングディスタンス
測定対象を移動させながら連続測定することで、三次元形状の認識も可能です。
走査型のレーザ測距式センサで、非接触で外形や幅、位置などが計測できます。 測距式のため、対象物の色の影響を受けません。
高い精度とラインナップであらゆる形状の段差を測定！お客様のお困りごとから開発したダンチノギス
「ZENSEI ダンチノギス」は、小型のハイトゲージで標準面から高さを測定し、アーム部の測定子の位置を調整することで標準から離れた箇所も測定が可能です。 お客様の測定方法に応じて、アナログ／デジタル、受け面が平面／３点受け等、様々な用途に対応可能です。 【全晴のダンチノギスは「ここ」が違う！】 ■お客様オリジナルが製作可能 ■豊富なラインナップで幅広く対応 ■デジタル、アナログ両対応 ※「ダンチノギス」の詳細はお問い合わせください。
検査を成功に導くトータルラインアップや、画像処理用の周辺機器についてもご紹介！
当資料では、自動車業界における画像センサの用途について まとめてご紹介しております。 シリンダブロックの品種判別やロボットの位置制御、車体の歪み測定、 車体の位置ズレ検出、カムシャフトの巣穴検知、ベアリングの抜け検査、 カーオーディオの各部不良チェックなど、多数の情報を掲載。 また、検査を成功に導くトータルラインアップや、画像処理用の 周辺機器についても掲載されております。ぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■シリンダブロックの品種判別 ■ロボットの位置制御 ■車体の歪み測定 ■車体の位置ズレ検出 ■カムシャフトの巣穴検知 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ワークの傾きや位置、取付位置確認など多様な用途にご使用いただけます
「傾斜角測定センサー」は、角度の変化を確実に検出するように設計されています。 120°の検出角度、X軸とY軸が独立した出力を持ちワークの傾きや位置、取付位置確認など多様な用途にご使用いただけます。保護等級IP67に加え、堅牢なメタルハウジングで屋外での使用にも耐え、アミューズメント施設や移動体の姿勢制御などにもご使用いただけます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
20mまでの長尺を測定可能
地盤モニタリングでは、安全性に関してポジションセンサが特に重要です。難しいのは、測定長と、それにもかかわらずコンポーネントを取り付けるためのスペースの不足です。 当社のRFセンサモデルは、このようなアプリケーション向けに設計されています。この磁歪式Temposonicsセンサの特別な機能は、最大20メートルの長さの測定ストロークに起因します。さらに、センサロッドは柔軟性があるので、スペースが限られている場合でも簡単に設置でき、また、この変位センサをコンパクトなサイズに収納できるため、低コストの輸送が可能です。 この用途の広いセンサには、最大20ヶ所の位置を同時に正確に測定できるモジュラープロファイルも用意されています。非常に頑丈なプロファイルは、基本的なプロファイルセクションと、組み立てたときに目的の長さを実現するいくつかの延長部品で構成されています。
分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー
D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。
【アプリケーション事例】EMS（イミュニティ）事前評価システムのご紹介
EMC試験サイトに被測定装置（EUT）を持込みイミュニティ試験を何回も 実施するのではなく、簡易的な妨害波試験が行えます。 専用プログラムを操作して放射妨害波の電界強度を設定。GUIの画面指示に 従い、電界プローブでターゲットエリア(最大4つ)を測定します。 試験精度を高める為、プローブの位置を変えながら、自由度の高い校正 データを自動作成します。 【ソリューション】 電波暗箱内のEUT設置ステージ上に電界プローブを設置。 EUTのサイズに合わせ、試験ソフトにより校正データを自動作成。 (１）ステージ上の任意の位置に電界プローブを設置。 (２）アンテナに向けたEUT面で合わせ、電界強度測定(最大4ヶ所) (３）ターゲット周波数範囲に合わせて、各位置校正データを記録 (４）試験ソフトに校正データを組込み、EMS事前試験を開始する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型・軽量の真北計で建物や鉄塔等、地磁気の乱れによる影響を受けず、正確な方位角の測定・設置が可能
『マゼンタI』は、測定対象機器(携帯基地局用アンテナ等)の 空間方向を測定するセンサー装置です。 従来型の真北計と比較して小型・軽量で取扱が容易な製品となっています。 太陽の位置を測定する必要があるため、天候が曇や雨天の場合には使用が 制限されますが、晴天時に事前測定することで回避することが可能です。 【特長】 ■地磁気の乱れによる影響を受けず、正確な方位角の測定・設置が可能 ■持ち運びと測定に便利な小型・軽量のデバイス ■価格競争力に優れる ■測定データ管理が容易 ■無線網構築のコストを削減 ■無線網性能向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトで軽量！狭い場所でも設置可能。量産やOEM、高い加速度がかかる用途に最適。変位、距離、位置の測定に利用できます。
optoNCDT1320は、変位、距離、位置の測定に利用でき、コンパクトな形状のため、狭いスペースに設置可能で簡単に設置作業が行えます。 高い測定精度、測定レートは最大2 kHzまで設定可能。 センサの多機能ボタンで試運転でき、ウェブインターフェースから追加センサの設定を行うことができます。
リニアライズによる高い精度と信頼性！高速応答の非接触式レーザー式距離計
レーザー式距離計LEシリーズは非接触式で長距離を測定できる光学式センサです。センサは変調されたレーザービームを発し、レーザービームは測定対象に取り付けられた反射板で反射します。送受信したレーザービームの位相差から、測定対象までの絶対距離が算出されます。LE200シリーズは一品ごとにレンジ全域の出力をリニアライズしているため非常に高い精度と信頼性を有します。
研究用途からシステム組み込みまで高安定・高分解能・汎用性を実現！
PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。 また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。 PS-IIIシリーズは、複数チャンネルを１台の筐体にまとめ、AC100Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。
針を「0」にセットするだけで測定！機械の上でも加工物を検査できるほど、精密です
『ユニバーサル3Dセンサー』はフライス盤、放電加工機（絶縁プローブ） 用の大変精密で多様性を持つ測定装置です。 測定子分の寸法補正を必要としないため、1回の測定ですべてが完了。 数字的な計算の煩わしさが省かれ、操作のエラーが減少します。 また、操作が簡便で、側面検出に必要な余分な時間を削減し、生産性と オペレーターの精密度が向上します。 【特長】 ■加工物の端面の主軸の正確な位置決め ■0,01mm単位の最小単位 ■高い融通性のための交換可能なプローブ ■IP 67 ウォータープルーフ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超軽量コンパクト GPS受信機搭載 複合気象センサー
GPS受信機を搭載しており位置と時間、太陽位置の連続受信を行います。φ130×70ｍｍ超軽量220ｇのコンパクトな本体には9要素が一体となっている高機能複合気象センサーです。 また、弊社データロガーとの組み合わせでリアルタイム計測も可能です。
同時に最大30箇所の『絶対位置』＋『移動速度』を計測
同時に最大30箇所の絶対位置+移動速度を計測 Temposonics独自の磁歪技術を応用したリニアスケールです。高分解能、かつ非接触計測を実現し、過酷な産業環境下で、耐久性が高く、高精度な直線変位計測が可能です。他のリニアエンコーダ、ポテンショメータ、LVDT、磁気テープ式/光学式リニアスケール等では不可能な複数の位置を、同時に、それもアブソリュートに検出し、加えて移動速度の計測も可能です。非接触、かつアブソリュートのため、殆どメンテナンスの必要はありません。この複数位置計測の機能は、Temposonics RシリーズのCAN、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IPインターフェースの機種で可能です。
クーラント中でも使用可能！完全防油構造のタッチセンサ
『ツールタッチセンサ』は、クーラント、切粉、塵埃など悪環境工程用大形 タッチセンサです。 工具やワークなどが測定子にタッチすると内蔵したタッチセンサから、 精度0.001mmのON／OFF電気信号がNC機のデジタルスケールの 一定位置で出力されます。 デジタル表示されたタッチ位置はNCやシーケンサにインプットされ、 タッチした工具、ワークの位置が正確にプリセットされます。 【特長】 ■完全防油構造なのでクーラント中でも使用可能 ■クーラントや切粉などの影響を受けにくく悪環境でも使用可能 ■ストロークが25mmと大きい ■オーバートラベル信号(非常停止信号)が出せる ■測定子を大きくできるので大径工具や大物ワークにも有効 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電適切な壁の穴あけ位置を割り出すのに最適。鉄筋、塩ビパイプ、電線、木材など、全ての障害物などのあらゆる障害物を正確探知します。
***特長*** ・見やすい大型液晶画面を採用 大型液晶画面なので知りたい情報が一目瞭然です。バックライトもついて ・暗いところでも安心して使用できます。 誰にでもカンタンに操作できるアニメーションガイド付き ・操作手順がアニメーション表示されますので、誰が使ってもカンタンに正確な探知ができます。 ・全ての障害物のシグナルをキャッチするダイレクトモード 全ての障害物からの反応の強弱を棒グラフで表示します。 ・材料によって選べる2つの探知モード＋7段階調整機能搭載 障害物の幅・深さを探知するモードは表面の材料によって選べる2つのモードを搭載。さらにそれぞれに感知レベルを7段階に調整可能で、より精度の高い探知が可能です。
知能型ロボット用の超音波センサーモジュール、位置認識モジュールなどを開発
移動ロボット位置認識センサー、超音波センサー（ロボット用、産業用）を製造。 サービスロボット分野の位置認識センサーと超音波センサーにおいては韓国でも高い評価を得ている企業で、日本においても大学研究室をはじめ、各企業のサービスロボット分野にて採用されつつある。また、無人搬入機（ＡＧＶ）の分野でも使用される。 ■ 超音波センサーモジュールの特長 ・圧電型タイプ ・知能型ロボットによる障害物の回避と障害物までの距離および位置をリアルタイムにて効果的に測定 ・ロボットの走行中、物体認識のために特化された多様なセンサー/モジュール提供 ・クリックノイズを大幅に減らした超音波送受信モジュール ・送受信兼用および個別モジュールを提供
高速応答・狭視野・LED照準を備えた放射温度センサのご紹介です！
放射温度センサ『PyroCube』は、紙や、厚いプラスチック・食品・ゴム・電子部品・ケーブル・セラミック・繊維・塗装面・金属などの材質の表面温度を測定できる製品です。 【特長】 ■高速応答：1ms(-F型) ■測定温度：0～500℃ ■測定径1.6mmと小さな対象物の測定におすすめ ■測定位置を示すLED照準を全型式で搭載 ■温度表示・データ記録・センサ/アラーム設定が可能な多言語対応タッチスクリーンインターフェースTBPM030(オプション)あり 大きな温度表示は、遠くからでも見やすく、アラーム状態では赤色に変わります。また、測定温度のグラフ表示とmicroSDカード(別売)でのデータ記録ができ、Excelと互換性のあるテキスト形式で保存されます。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。
ヘルスケア業界で使用される機器には、正確な位置決めに高度な技術が求められます！
当社では、『医療機器向けポジションセンサ』を取り扱っております。 コンパクトな「TILTIX傾斜計」は、正確な測定を提供し機器の寿命まで 使用できるよう設計。「LINARIXリニアセンサ」は、検査テーブルの 位置検出に好適なソリューションを提供します。 また、透視撮影台やX線撮影台、手術用Cアームなど、複数の部品が 組み合わされて位置決めを必要とする複雑なアプリケーションには、 「IXARCアブソリュートロータリーエンコーダ」が好適です。 【特長】 ■スキャナの角度位置決めや患者テーブルの正確な位置決めに好適 ■手術用ロボット、外骨格、人工呼吸器、 ラボラトリーオートメーション機器などにも好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
加工物の側面に測定子をあてて測定を行う回転式のタッチポイントセンサー
●タッチポイントセンサーをスピンドルに取り付け、タッチポイントセンサーを450-600mmぐらいで回転させながら、ワークをゆっくり近づけることで測定を行います
