均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備(USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用)
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年10月08日~2025年11月04日
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SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備(USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用)
開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール
(極)UHVアプリケーションの真空プロセス用
-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能
シンプルなソリューションをお求めの方に!
-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ
– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル
極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)
優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。
優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要
直圧式の高信頼性バルブ!ジャンクションへの取付と配管作業が容易です。
「Sシリーズ MU型」は、小型~中型機械用の主配管脱圧作動型定量バルブシステム、LHL専用定量バルブです。 直圧式の高信頼性バルブで、ストレートネジとワンタッチ継手の採用によりジャンクションへの取付と配管作業が容易になりました。 【仕様】 ○作動圧力:1.5MPa ○復帰圧力:0.4MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
直圧式の高信頼性バルブ!ジャンクションへの取付と配管作業が容易です。
「MG2・MG2C型」は、小型~中型機械用の主配管脱圧作動型定量バルブシステム、グリース定量バルブです。 直圧式の高信頼性バルブで、ストレートネジとワンタッチ継手の採用によりジャンクションへの取付と配管作業が容易になりました。 グリス用バルブには、グルービングが入っています。 【仕様】 ○作動圧力:2.5MPa ○復帰圧力:1.4MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
重要潤滑点に最適!毎回の吐出を電気的に確認する定量バルブです。
「MGLA 型」は、小型~中型機械用の主配管脱圧作動型定量バルブシステム、電気式グリース吐出検知バルブです。 毎回の吐出を電気的に確認する定量バルブ。 重要潤滑点には特に適し、かつ最末端潤滑点に使用することで主配管の昇圧と脱圧の確認ができます。 作動数をカウントすることでカートリッジの交換時期総給脂量の管理が出来ます。 【仕様】 ○吐出量:0.1、0.2、0.3、0.5ml/ストローク ○作動圧力:2.5MPa ○復帰圧力:1.2MPa ○接点容量:AC125V 2A AC250V 2A DC30V 2A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。