バルブのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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バルブ - メーカー・企業590社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年03月25日~2026年04月21日
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バルブのメーカー・企業ランキング

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  1. エマソンバルブアンドコントロールジャパン株式会社 東京都/機械要素・部品
  2. ゲミュージャパン株式会社 愛知県/機械要素・部品
  3. 株式会社バルテックインターナショナル 東京都/機械要素・部品
  4. 4 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 東京都/機械要素・部品
  5. 5 Anson Flow Corp. 台湾/機械要素・部品

バルブの製品ランキング

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  1. KTM 『総合製品カタログ』 エマソンバルブアンドコントロールジャパン株式会社
  2. 【安全対策】スプリングリターン式ボールバルブ(2・3PC) Anson Flow Corp.
  3. Mizup ステンレス製スプリングリターンボールバルブ 株式会社バルテックインターナショナル
  4. 4 高圧ミニボールバルブ『S39 BSPT』 株式会社バルテックインターナショナル
  5. 5 555型 ピュアスチーム用空気操作式アングルシートバルブ ゲミュージャパン株式会社

バルブの製品一覧

421~450 件を表示 / 全 3447 件

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高純度ガス系 2連3方バルブ(フリッカータイプ)

バルブボックス自体の省スペース化が可能! コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。

『2連3方バルブ(フリッカータイプ)』は、当社の2連3方ブロック バルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを 究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター部のボディを中心とし、 両側に水平対向した位置にレイアウト。 ダイヤフラム標準タイプの「KDシリーズ」から、コンパクトタイプの 「KCDシリーズ」、高圧タイプの「RDシリーズ」の各種バルブシリーズを ご用意しております。 【特長】 ■当社の2連3方ブロックバルブのボディ部を更にコンパクトに設計 ■2つのバルブアクチュエーターは両側に水平対向した位置にレイアウト ■コンパクト設計の為バルブボックス内のレイアウト設計が容易 ■バルブボックス自体の省スペース化が可能 ■形状が単純な為、ヒータージャケット、断熱材の設計が容易 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系 2連3方バルブ(ブロックタイプ)

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性!特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能

『2連3方バルブ(ブロックタイプ)』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台(2連)を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。 基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の 組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。 また、配管レイアウトに合わせた好適のフローシステム、配管取り回し、 継手種類を選択する事ができます。 【特長】 ■優れた脱ガス特性 ■基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぐ ■配管システムを極小にコンパクト設計することが可能 ■好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択できる ■特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能 #マニホールドバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止! OPEN状態 或いは OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能な高純度ガス系LOTOバルブ

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。 バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える 状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。 また、ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー(最小φ3.18)を通すことで、 バルブのLock-out Tag-outができ、ヒューマンエラーによる誤操作防止に役立ちます。 【特長】 ■バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える ■バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて、回す ■ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー(最小φ3.18)を通すことで、  バルブのLock-out Tag-outができ、作業者の誤操作防止に役立つ ■オプションでOPEN状態、OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能 ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減!ハイフロータイプをラインアップしています

『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能(オプション) ■特殊仕様、ブロックバルブ対応(オプション) ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』

大流量供給システムに最適!安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ

『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 #空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を  採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ■フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの  大流量供給システムに好適 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRMD8Cシリーズ』

安全・高耐久・パーティクルフリーを実現!アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ

『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 #空圧 BSGS(特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を  採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ※※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』

KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能!手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています

『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。 従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。 バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、 ユーザーの生産性に大きく貢献致します。 また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブと ブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側で 異なった設計になっております。 【特長】 ■メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献 ■手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されている ■トグルハンドルにより、限られたスペースでも容易にハンドル操作が可能 ■ブロックタイプでは、流路に沿ってカートリッジヒータをブロック内蔵  することができ、温度制御性ベークアウト性が大幅に改善される ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』

1.125"C-SEAL対応 コンパクト設計のバルブ!誤作動防止LOTO機構付きもご用意!繰返し着脱でのシール性能を高めています

『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付きもご用意。 ブロックとのシール部硬度はHv300に管理されており、繰返し着脱での シール性能を高めています。 【特長】 ■TD4シリーズのCv値は0.3 ■1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えている ■手動弁は90°回転ハンドルとなっており、誤作動防止のLOTO機構付きもある ■接ガス部は、Chrome richプロセスを施し、Cr/Fe>2.0を達成(オプション) ■ブロックとのシール部硬度はHv300に管理され、繰返し着脱でのシール性能を高める ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』

「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20%縮小化を実現!半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能!

『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20%縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能 #空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に!全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系 ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化!極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部(ASSY)は交換可能

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積(デッドボリューム)を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に  することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、  リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトする ■リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能 #デッドスペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』

ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持するバルブ

株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩なラインアップをご用意。 中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持し、バルブの半開など、ヒューマンエラーによるバルブ誤作動の防止に役立ちます。 【特長】 ■蝶型ハンドルにより、操作性が向上 ■中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持 ■バルブの半開防止に役立つ ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない!小さな開閉トルクで操作が可能

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス(接液)部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ■小さな開閉トルクで操作が可能 ■シート材質は耐久性のあるPTFEを採用 ■小さな力で操作でき、レバー操作式に比べ小スペースの配管が可能 ■ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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チェックバルブ『IC』

優れた内部シール性!低圧から高圧まで使用可能なポペット摺動タイプの逆止弁

『IC』シリーズは、ポペット摺動タイプのチェックバルブです。 精密嵌合仕上げにより、スムーズな開閉動作を有しており、特別に デザインされたエラストマーにより、低圧から高圧までシール可能。 コンパクト設計によりガス溜りも極小に押さえた設計に仕上がっています。 【特長】 ■材質はSUS316L材を使用し、耐食性を向上 ■構成部品はシンプルな構造 ■メタルシールにより優れた外部気密 ■ガス溜り部を極小にしている ■エラストマーの弾性を利用し、優れた内部シール性 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵!弁体・ベローズを加熱できる真空バルブです。副生成物付着が減少!

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 #副生成物対策 内部・外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち、それぞれMax180℃まで 任意の温度で加熱することができます。 【特長】 ■長期リーク性能を維持する事が可能 ■可動時の生成物脱落が少なくなり、パーティクル発生が極力減少 ■ベローズの高耐久化を実現 ■接続フランジは「ISO KF」「JIS VF/VG」など各種接続に対応可能 ■オプションとして磁気近接開閉スイッチ・サーモスタットなどをご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズバルブ!マントルヒーターには熱電対と保護用サーモスタットを内蔵し異常加温を防止

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。 #副生成物対策 また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル製 ベローズの採用により実績100万回以上の耐久性能も確保しています。 【特長】 ■接ガス部の250℃加熱を実現 ■ベローズ内部ヒーターを装備 ■着脱可能な外部ヒーター ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている、省スペースのバルブ!

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コントロールをします。 バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの 2種類を用意しており、このバイパスバルブは15Aサイズを除く「IVB」 「IVBL」「IVBH」シリーズ全てに対応可能です。 【特長】 ■従来のスロー排気ラインがメインバルブと一体構造 ■省スペース化が可能 ■排気ラインの低コスト化が可能 ■バイパスバルブは機種によって複数台取り付けることが可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバルブ!

『SBB』シリーズは、コンパクトな設計でありながら高いCv値と耐久性能を 持った供給ラインで使用することを前提とした、パイプサイズのベローズ バルブです。 エア供給口を頭部に設定することで、配管向きを気にすることがなく 設計でき、パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に 対応可能。 シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用しています。 【特長】 ■ストレートタイプ ■ボディを鍛造にすることで軽量化 ■シート部はガス溜りや発塵を少なくする構造を採用 ■パージポートをオプション仕様として、1次側、2次側、両側に対応可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能!ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ!

『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート(ASSY)部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【ベローズバルブ】可変流量バリアックタイプ

全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能!

当製品は、全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。 アクチュエーター上部ローレット付黒ハンドルを回転させることにより、 流量調整可能となり1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持ちます。 これにより、配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減を 可能としました。 【特長】 ■可変流量バリアックタイプ ■1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持つ ■配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能 ■高温仕様(最高使用温度180℃)も製作できる ■別途専用加熱ヒーター(ホットシェル)もご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【ニードルバルブ】流量調整ニードルタイプ

正確に微少な流量を設定可能!耐熱性に優れた高温・高耐食仕様のニードルバルブ

当製品は、高温・高耐食仕様のニードルバルブです。 ニードル部の超精密加工および、バックラッシュ(ギアやネジ 噛み合わせの後方にできる隙間、揺り戻し)が出ない構造の為、 正確に微少な流量を設定可能。 メタルガスケットを標準採用し、耐熱性に優れております。 【特長】 ■流量調整ニードルタイプ ■高温・高耐食仕様 ■ニードル部の超精密加工および、バックラッシュが出ない構造 ■メタルガスケットを標準採用 ■耐熱性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ベローズバルブ『IB』

デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現!ストレートタイプのベローズバルブ

『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を 持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても 対応できます。 【特長】 ■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮化を実現 ■ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能 ■高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても対応可能 ■独自のシート形状により、ディスクからのパーティクル発生の低減、  耐久性の向上を計っている ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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WET系バルブ『FCDNシリーズ 流量調整+バイパス付自動弁』

流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁!

WET系樹脂バルブ「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整+バイパス付自動弁』は、流量設定、エア駆動開閉、 バイパス流路の確保など1台3役の複合弁です。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5~100℃、周囲温度は0~60℃となっています。 【仕様(抜粋)】 ■流体温度:5~100℃ ■周囲温度:0~60℃ ■耐圧:1.0MPa ■弁座漏れ:0cm3/min(水圧にて) ■駆動方式:N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ』

クリーンで使いやすいWET系バルブ!特殊機能付きや200℃対応高温樹脂弁などをご用意

『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、 全開流量を任意に設定できる「流量調整付自動弁」や「バイパス付自動弁」 などをラインアップ。 用途に応じてお選びください。 【ラインアップ(抜粋)】 ■FCD 手動弁 ■FCD 自動弁 ■FCD 自動弁(各種機能付) ・流量調整付自動弁 ・バイパス付自動弁 ・流量調整+バイパス付自動弁 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造!Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現

『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久:全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『事例』ガス供給ラインバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見! 安全対策の事例を進呈中。

バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか? KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ:https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth

  • CVD装置
  • 酸化/拡散装置
  • その他半導体製造装置
  • バルブ

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高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ(高温リプレイサブルバルブ)は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能! ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。  ※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能! ZD series:200℃まで、ZD-K series:250℃までの高温環境下で使用できます。 【特長】 ■サイズ:1/4" 1/2" ■駆動方法:自動 手動(ZD-Kのみ) KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』(高温リプレイサブルバルブ)は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能!  バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。  ※メンテナンス後は製品保証外となります ■高温環境下で使用可能!  流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。  『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。 ■PFAシート採用による耐久性能の向上  メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上 ※ ※当社実績値比較 ※メタルシート:5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート:80万回 当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい

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APCバタフライバルブ『PCVAシリーズ』

AUTO PID搭載!指定した目標圧力に自動で調整するAPCバタフライバルブ

AUTO PID制御を搭載したAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]のご紹介です。 当製品はバルブ、コントローラー 一体型のAPCバタフライバルブで、 半導体製造の真空排気ラインでの使用に好適です。 半導体製造ラインでは温度や圧力の微細な変動が製品の品質に大きな影響を与えるため、 高精度な制御が不可欠です。AUTO PID制御は高精度な制御、迅速な応答、 長期的な安定性、外乱に対する強さに対して利点があり、 半導体製造において、要求されるプロセスの安定化に寄与します。 AUTO PID制御を搭載するAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]は 自動で指定した目標圧力に到達でき、半導体製造プロセスの最適化と効率化に寄与します。 具体的には次の制御が可能です。 ■ 圧力制御:指定した目標圧力に自動で調整 ■ 目標変更:圧力制御時の目標圧力値の変化にも対応 ■ 流量変動:学習流量以外の流量に対しても圧力制御が可能 ■ 外乱影響:目標圧力制御中に流量が変化しても目標圧力に収束 ■ 位置ずれ検出:生成物付着やメカ部トラブル等による位置ずれの検知が可能

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液だまり防止 ボールバルブ(粉体・サニタリ・医薬・食品用)

液だまりしない、させないボールバルブにより、固着,雑菌発生等の問題を解決!

1次側で流体のシールが可能になることで、下記1)~3) のオプションを追加し、ボールバルブ特有の液溜まりによる固着・コンタミネーション・雑菌発生の問題を解決します。 1)異形ボール(写真) バルブ開時:1次側/2次側でのダブルシール バルブ閉時:1次側のみシールされ、2次側シール部は異形ボールとの間隙が出来、バルブ内の液だまりを2次側に排出可能となります。また、パージポートを追加することにより、閉時にバルブ内の洗浄も可能となります。 2)セルフクリーニング バルブ開時:ボール自体にメインホールとは別に循環用ホールを追加することにより、バルブ内全域に流体が入り、1次側より供給される流体でバルブ内が置換し続け液だまり箇所を無くせます。 バルブ閉時:1次側/2次側でのダブルシール 3)キャビティーフィラー 液溜まり部を樹脂で予め封しすることで液溜まりを防止します。 4)増し締めによりシール性改善 アジャスタブルシール技術により、シールを外部から押し付けているフランジボルトの増締めが分解不要でインラインで可能になり、シール交換頻度が減少しシール性が改善・長寿命化されます。

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