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半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！
『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用可能 ■パージ特性等を維持しながら、シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能 ■材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効 ■シート（ASSY）部交換治具は「WD4手動弁シリーズ」と共通 ■アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能！
当製品は、全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。 アクチュエーター上部ローレット付黒ハンドルを回転させることにより、 流量調整可能となり1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持ちます。 これにより、配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減を 可能としました。 【特長】 ■可変流量バリアックタイプ ■1台で自動弁とニードルバルブの2台の特性を持つ ■配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能 ■高温仕様（最高使用温度180℃）も製作できる ■別途専用加熱ヒーター（ホットシェル）もご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
正確に微少な流量を設定可能！耐熱性に優れた高温・高耐食仕様のニードルバルブ
当製品は、高温・高耐食仕様のニードルバルブです。 ニードル部の超精密加工および、バックラッシュ（ギアやネジ 噛み合わせの後方にできる隙間、揺り戻し）が出ない構造の為、 正確に微少な流量を設定可能。 メタルガスケットを標準採用し、耐熱性に優れております。 【特長】 ■流量調整ニードルタイプ ■高温・高耐食仕様 ■ニードル部の超精密加工および、バックラッシュが出ない構造 ■メタルガスケットを標準採用 ■耐熱性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベローズバルブ
『IB』シリーズは、ダイヤフラムバルブと比べ、高いCv値を 持つことにより設備の供給ラインなどの多くの流量を必要とした ユースポイントで性能を発揮するベローズバルブです。 ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能。 高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても 対応できます。 【特長】 ■デッドスペースを小さくした結果、パージ時間の短縮化を実現 ■ガス供給系だけでなく排気系の装置にも使用可能 ■高温仕様、高耐食仕様、可変流量など特殊仕様のバルブについても対応可能 ■独自のシート形状により、ディスクからのパーティクル発生の低減、 耐久性の向上を計っている ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁！
WET系樹脂バルブ「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 『流量調整＋バイパス付自動弁』は、流量設定、エア駆動開閉、 バイパス流路の確保など1台3役の複合弁です。 バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、 流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。 【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーンで使いやすいWET系バルブ！特殊機能付きや200℃対応高温樹脂弁などをご用意
『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても 高い封止性能があるバルブです。 超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、 全開流量を任意に設定できる「流量調整付自動弁」や「バイパス付自動弁」 などをラインアップ。 用途に応じてお選びください。 【ラインアップ（抜粋）】 ■FCD 手動弁 ■FCD 自動弁 ■FCD 自動弁（各種機能付） ・流量調整付自動弁 ・バイパス付自動弁 ・流量調整＋バイパス付自動弁 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現
『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久：全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。
バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 ※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能！ ZD series：200℃まで、ZD-K series：250℃までの高温環境下で使用できます。 【特長】 ■サイズ：1/4" 1/2" ■駆動方法：自動 手動（ZD-Kのみ） KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。
高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 ※メンテナンス後は製品保証外となります ■高温環境下で使用可能！ 流体が通る内部だけでなく、外部も高温環境に耐性があります。 『ZDシリーズ』200℃まで、『ZD-Kシリーズ』250℃までの高温環境下で使用できます。 ■PFAシート採用による耐久性能の向上 メタルシートからPFAシートに変更することで、耐久性能を約16倍向上 ※ ※当社実績値比較 ※メタルシート：5万回、ZD-Kシリーズ PFAシート：80万回 当社は半導体製造における流体関連のお悩みに対して様々な提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご参照またはお気軽にお問い合わせ下さい
AUTO PID搭載！指定した目標圧力に自動で調整するAPCバタフライバルブ
AUTO PID制御を搭載したAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]のご紹介です。 当製品はバルブ、コントローラー 一体型のAPCバタフライバルブで、 半導体製造の真空排気ラインでの使用に好適です。 半導体製造ラインでは温度や圧力の微細な変動が製品の品質に大きな影響を与えるため、 高精度な制御が不可欠です。AUTO PID制御は高精度な制御、迅速な応答、 長期的な安定性、外乱に対する強さに対して利点があり、 半導体製造において、要求されるプロセスの安定化に寄与します。 AUTO PID制御を搭載するAPCバタフライバルブ [PCVAシリーズ]は 自動で指定した目標圧力に到達でき、半導体製造プロセスの最適化と効率化に寄与します。 具体的には次の制御が可能です。 ■ 圧力制御：指定した目標圧力に自動で調整 ■ 目標変更：圧力制御時の目標圧力値の変化にも対応 ■ 流量変動：学習流量以外の流量に対しても圧力制御が可能 ■ 外乱影響：目標圧力制御中に流量が変化しても目標圧力に収束 ■ 位置ずれ検出：生成物付着やメカ部トラブル等による位置ずれの検知が可能
液だまりしない、させないボールバルブにより、固着，雑菌発生等の問題を解決！
1次側で流体のシールが可能になることで、下記1)～3) のオプションを追加し、ボールバルブ特有の液溜まりによる固着・コンタミネーション・雑菌発生の問題を解決します。 １）異形ボール（写真） バルブ開時：1次側/2次側でのダブルシール バルブ閉時：1次側のみシールされ、2次側シール部は異形ボールとの間隙が出来、バルブ内の液だまりを2次側に排出可能となります。また、パージポートを追加することにより、閉時にバルブ内の洗浄も可能となります。 ２）セルフクリーニング バルブ開時：ボール自体にメインホールとは別に循環用ホールを追加することにより、バルブ内全域に流体が入り、1次側より供給される流体でバルブ内が置換し続け液だまり箇所を無くせます。 バルブ閉時：1次側/2次側でのダブルシール ３）キャビティーフィラー 液溜まり部を樹脂で予め封しすることで液溜まりを防止します。 ４）増し締めによりシール性改善 アジャスタブルシール技術により、シールを外部から押し付けているフランジボルトの増締めが分解不要でインラインで可能になり、シール交換頻度が減少しシール性が改善・長寿命化されます。
一般的なバルブより通過流量が高いバタフライバルブ
OMAL 社のバタフライバルブはWafer タイプとLug タイプ。Lug タイプは圧力下で反対側を切り離してメンテするときに使用します。静電気防止用ねじ溝があるのでアースにつなげばそのまま使用可能。レバーロック機構、開閉インジケータ、空圧アクチュエータ、電気アクチュエータと組み合わせて使用可能です。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
水・油などに限らず食品に対応可能なフローディング式ボールバルブ
OMAL 社のボールバルブはフローディング式です。水・油などに限らず、食品に対応可能なバルブや、引火性のある環境で静電気を防止するためのオプションなど様々な環境で対応できます。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
トラニオンバルブの高圧用途にフローティング式で挑む高性能フルボアバルブ。
独自開発のシール材で耐圧400Bar（40MPa）、開閉回数20、000サイクル以上を達成。 ウレタン・油圧・水圧・インク・塗料などの高圧流体に対応します。帯電防止設計、火災時にもバルブの気密性を保持する設計で、本体は炭素鋼製とステンレス製をご用意。 レバーによる手動開閉仕様と、アクチュエータを付帯してエアー駆動による開閉を選択でき、アクチュエーターは復動式とスプリングターンをご用意しております。
