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システム内の圧力によって対真空メンブレンが開き、3方向への流路を確保します！
小口径チューブによるシステム構築時、「止める」、「絞る」、「逃がす」、 「切り離す」といった働きをする補助機器群をご紹介します。 『マルチファンクション・バルブ』は、システム内の圧力によって 対真空メンブレンが開き、3方向への流路を確保。 また、システム内が過圧状態にある時は、過圧バルブが開くことで 上昇した圧力を開放します。 【材質】 ■本体：ポリフェニルスルホン(PPSU) NSF/ANSI 169、 PPSUボディはKTW-BWGLに準拠 ■Oリング：EPDM(FDA、KTW-BWGL に準拠) ■スプリング、他：SUS301 ■他：SUS316L ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の弁構造で低粘度（水）を0.001ｍｌから吐出できます。
ダイアフラムを採用することで材料と接触する駆動部にはシールが有りません。オリフィスはφ0.2からΦ4まで。
瞬間接着剤・低粘土用微量用タイプ 使い易さを追求したピンチバルブ
チューブの潰し調整ネジ・シリンダーストローク調整があり吐出量の設定ができます。 チューブ交換を回転クランプ式
本バルブは、材料の粘土変化に影響なくプランジャーの移動距離により、材料を計量し 塗布するプランジャー式定量吐出バルブです
本バルブは、プランジャーと計量ボディのシリンダー部がオリジナル駆動のため擦れが無く、ペースト材・フィラー混入の材料等でも摩耗が少なく長寿命で、低粘度から高粘度まで幅広く使用できます。
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用）
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール
（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用
-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能
シンプルなソリューションをお求めの方に！
-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス
極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要
直圧式の高信頼性バルブ！ジャンクションへの取付と配管作業が容易です。
「Sシリーズ MU型」は、小型～中型機械用の主配管脱圧作動型定量バルブシステム、LHL専用定量バルブです。 直圧式の高信頼性バルブで、ストレートネジとワンタッチ継手の採用によりジャンクションへの取付と配管作業が容易になりました。 【仕様】 ○作動圧力：1.5MPa ○復帰圧力：0.4MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
直圧式の高信頼性バルブ！ジャンクションへの取付と配管作業が容易です。
「MG2・MG2C型」は、小型～中型機械用の主配管脱圧作動型定量バルブシステム、グリース定量バルブです。 直圧式の高信頼性バルブで、ストレートネジとワンタッチ継手の採用によりジャンクションへの取付と配管作業が容易になりました。 グリス用バルブには、グルービングが入っています。 【仕様】 ○作動圧力：2.5MPa ○復帰圧力：1.4MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
