更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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蒸気/冷却水漏れや、性能低下等に迅速に対応。トラブル原因を究明し再発の防止策も提案
当社は、産業用熱交換器の設計・製作から使用上のアドバイス、 納品後のメンテナンスまで一貫してサポートしています。 蒸気漏れや液漏れ、チューブ目詰まりなどのトラブル発生時も迅速に対応可能です。 国内は即日～翌日、国外（アジア、ヨーロッパ、アメリカなど）は最短3日で エンジニアを派遣。トラブル内容や原因を調査し、部品交換や分解清掃などを行います。 【当社の強み】 ■1934年の創業から培ってきた豊富な経験と実績 ■複数の要素によることも多いトラブルの原因の究明が可能 ■トラブルの内容が不明でも現場にエンジニアを派遣 ■熱交換器に不具合がない場合も再発防止のためトラブルの原因を調査 ★現在、蒸気ヒーターコイルのトラブルシューティングに関する資料を進呈中です。 詳しくはダウンロードボタンよりご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ウェハ加熱に最適！高性能・長寿命ヒーターで生産効率アップ！
半導体製造におけるウェハ加熱工程では、均一な温度管理が求められます。従来のバンドヒーターでは、熱効率が低く、温度ムラが発生しやすいという課題がありました。そこで、中日本ヒーター株式会社では、高性能・長寿命な「フラットベースヒーター」を開発しました。 【活用シーン】 * 薬液供給ノズルの加熱 * CVD装置におけるガス供給ノズルの加熱 * 実装装置における接着剤吐出ノズルの加熱 * ダイシング装置における冷却水供給ノズルの温度制御 【導入の効果】 フラットベースヒーターは、従来のバンドヒーターに比べて、熱効率が向上し、温度ムラを抑制することで、ウェハの均一な加熱を実現します。これにより、製品品質の向上と歩留まりの改善に貢献できます。また、長寿命設計により、交換頻度を減らし、メンテナンスコストの削減にも繋がります。
