ウェハ加熱に最適！高性能・長寿命ヒーターで生産効率アップ！
半導体製造におけるウェハ加熱工程では、均一な温度管理が求められます。従来のバンドヒーターでは、熱効率が低く、温度ムラが発生しやすいという課題がありました。そこで、中日本ヒーター株式会社では、高性能・長寿命な「フラットベースヒーター」を開発しました。 【活用シーン】 * 薬液供給ノズルの加熱 * CVD装置におけるガス供給ノズルの加熱 * 実装装置における接着剤吐出ノズルの加熱 * ダイシング装置における冷却水供給ノズルの温度制御 【導入の効果】 フラットベースヒーターは、従来のバンドヒーターに比べて、熱効率が向上し、温度ムラを抑制することで、ウェハの均一な加熱を実現します。これにより、製品品質の向上と歩留まりの改善に貢献できます。また、長寿命設計により、交換頻度を減らし、メンテナンスコストの削減にも繋がります。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特長】 * 軽量・薄型(3mm)で、リード線取出し方向は自由に曲げて使用可能 * 完全密閉型のため溶けた樹脂・油等の進入が無く断線故障の心配がない * 高温設計が可能(10W／cm2)で、被加熱物常用温度600℃で連続使用可能 * 熱伝導性に優れ、フレキシブルなヒーター本体はどんな箇所でも簡単に密着 * 従来のバンドヒーターに比べて、熱効率が向上し、温度ムラを抑制 当社の強み 中日本ヒーター株式会社は、カートリッジヒーターをはじめ各種ヒーターを常時在庫しており、加熱のニーズにも即応いたします。NNHカートリッジヒーター・NNHノズルヒーター・NNHシーズヒーターなど様々な製品を取り揃えておりますので、ご要望の際はお気軽にご相談ください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
中日本ヒーター株式会社は、カートリッジヒーターをはじめ 各種ヒーターを常時在庫しており、加熱のニーズにも即応いたします。 NNHカートリッジヒーター・NNHノズルヒーター・NNHシーズヒーターなど 様々な製品を取り揃えておりますので、ご要望の際はお気軽にご相談ください。