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ポンプ×株式会社大阪真空機器製作所 - メーカー・企業と製品の一覧

ポンプの製品一覧

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半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML ■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50 ■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。 また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。

  • その他加工機械
  • 分析機器・装置
  • その他ポンプ

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真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACUUM2020 真空展に参加

お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ　［新製品］ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ 姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズ ドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ 直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ　［新製品］ ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズ など 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • ターボ型ポンプ

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直結型油回転真空ポンプ(一段式)『VSVシリーズ』

直結型油回転真空ポンプ(一段式)『VSVシリーズ』

二段/三段式ガスバラストを標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油回転真空ポンプ

『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽量・コンパクト・低振動 ■オイルフィルター標準搭載 ■ガスバラストバルブ(二/三段階調節) ■油煙トラップエレメント内蔵標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 真空ポンプ

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分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ　※カタログ進呈

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。

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  • 分析機器・装置
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液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 　 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 　キャビテーション防止することができる（1段アトモスタ：WAシリーズ、2段アトモスタWBシリーズ） ●詳細については、お問い合わせ下さい。

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  • 真空ポンプ
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真空システム

真空システム

真空システム

大阪真空社では、「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」 を提供する事をモットーとして、 多彩なラインアップをもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベストな真空システムを提供していきます。 【各種真空システム】 ○ターボ分子ポンプを使った真空システム ○ドライ真空ポンプを使った真空システム ○油回転真空ポンプを使った真空システム ○液封式真空ポンプを使った真空システム ○ルーツ真空ポンプを使った真空システム ○エジェクタを使った真空システム ●詳細は、お問い合わせ下さい。

  • 開発支援ツール（ICE・エミュレータ・デバッガ等）
  • その他ポンプ
  • 試験機器・装置

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油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 　 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 　 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 　 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間 　 ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。

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油拡散真空ポンプ

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG553

複合分子ポンプ　TG553

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG1303

複合分子ポンプ　TG1303

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG2813

複合分子ポンプ　TG2813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG3213

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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！

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姿勢自在型複合分子ポンプ TG240F

姿勢自在型複合分子ポンプ TG240F

取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。

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