蒸気洗浄装置『ASTE(アステ)』
金属汚染のない半導体用の洗浄装置!単式蒸気噴射音速ノズル搭載
『ASTE(アステ)』は、エッチング後のポリマ除去や、 ウエハ上の異物除去 (ブラシスクラバの置換え)が出来る、 金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。 高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマと レジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。 原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。 【特長】 ■コスト低減 ■工程数削減 ■環境負荷低減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:HUGパワー株式会社
- 価格:応相談