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ダン科学の会社概要
ゼビオスは、液晶・半導体装置関連のニーズとシーズを捉え、提案型の装置設計、製造を目的としたブランドです。
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM (幅広い視野に立ったシステム構築) を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。
事業内容
◆スペーサ散布・分散装置 洗浄装置 静電気除去装置 ◆各種装置の開発・設計・製造・販売
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各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を1つのチャンバーで行う枚葉装置になります。 ◇ シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇ Si(シリコン)、LT(リチウムタンタレート)やSiC(炭化ケイ素)他、 各種ウェハに対応 ◇ 異物(有機物・無機物)の除去、金属イオンの除去 ◇ 洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
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株式会社ダン科学 社屋画像