ゼビオス（XEVIOS CORP.,）の企業情報

スラリー不使用　濾過水、純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨から洗浄まで行う研磨装置（エッジポリッシュ）

■装置概要 　スラリーや長い研磨ベルトを使用せずに、濾過水・純水を媒体として鏡面研磨、粗研磨、洗浄等を行う端面研磨装置（エッジポリッシャー） 　スラリー不使用・長い研磨ベルト不使用により省メンテナンス・省スペース・シンプルな機構を実現 ■用途例 　鏡面仕上げ加工・鏡面仕上げ加工・端面異物洗浄 ■対象物 　・薄い材料150～200μに好適 　・各種ウェハ：化合物、酸化物、ガラス、石英、シリコン、セラミック 対応 実機での評価・確認後に装置採用のご検討をお願いします。 オリフラ対応(Vノッチは対応不可) 自動化・仕様打合せによる特注設計製作に対応します。