更新日： 集計期間:2025年05月21日～2025年06月17日
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シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研究開発や小ロット生産に対応
『薬液スクラブスピン洗浄装置』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて適した装置構成をご提案可能です。 【特長】 ■各種洗浄方法・薬液を組み合わせ可能 ■研究開発用途や小～中規模の現場に対応 ■SiC、GaN、LTなどの小径ウェハ、 パワー半導体の新素材を開発・生産している現場にも好適 ■対応ウェハサイズ：3インチ～6インチ（8～12インチも別途ご相談により対応） ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
洗う、落とす、剝がす！長年にわたる技術革新により、確実で安定した洗浄能力が実現
『TAIKAI SWシリーズ』は、様々な洗浄に対応する「水」の力が 十分引き出されるよう、工夫された高圧洗浄機です。 使いやすく耐久性に優れた安全設計、各部に余裕をもった製品で、 様々な用途に使用可能。 洗浄作業時の噴射・停止が手元で自在にできるアンローダバルブを 全機に装備していますから、遠隔操作で能率良い経済的な洗浄効果が 得られます。 【特長】 ■安全設計の電子制御 ■アンローダバルブ ■耐高温・耐高圧性能に優れた高性能ポンプ ■遠隔操作機能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
VR・3Dモデルを活用した高品質な設計！新設備導入時のあるあるを解決
当社の高圧洗浄機『MOVAC』は、新設備導入時に発生する課題を解決いたします。 新設備導入時には、 思ったより大きかった や メンテナンスできなかった などの問題が発生することが想定されますが、当製品はVR立会いのご提案が 可能な為、そういった課題を解決することが可能です。 また、「i-movac」においては、単純な構造で壊れにくく修理が容易で、 1％の性能向上よりも扱いやすさを目指しております。 そのほか、高品質で多彩なノズルや安定の品質を保証する 噴射確認システムなど、様々な特長がある製品です。 【課題解決概要】 ■新設備導入時の課題 ・思ったより大きかった ・メンテできなかった 等 ■MOVACの解決方法：VR立会いのご提案が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空超音波洗浄機。純水洗浄からの切替えが可能です。
真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易であり、装置の小型化、消費電力の削減などコスト面でも優れた性質を持っています。 弊社は洗浄液として優れた物性を持つフッ素系溶剤の専用機としてザウバーを完成させました。 （SAUBER/ザウバーの特長） ・真空洗浄・真空乾燥を行い、システム全体を減圧下でコントロール。 ・洗浄槽は4面オーバーフローを採用。 ・真空洗浄中にオーバーフローをした液は常時フィルタリング。 ・洗浄槽への給液には全量フィルターを通した液を供給。 ・真空洗浄中の上下揺動で洗浄効果UP。 ・最大4周波（40，80，120，170kHz）の超音波を各工程でレシピ選択可能
機械部品の脱脂洗浄や異物除去に！水と空気のみで洗浄し環境に優しい洗浄装置
インライン型マイクロバブル洗浄装置（バブ・リモ(R)）は、精密部品や 機械加工部品の脱脂洗浄や、異物除去に用いられる洗浄装置です。 水中で生成させた微細な気泡（マイクロバブル）を利用しており、 従来の工業用洗浄に代わる、安全で環境にやさしい洗浄を実現します。 洗浄には化学合成物質を使用せず、水道水などで洗えるため、 優れたランニングコストを実現します。 【特長】 ■生産ラインにあわせて設計するタイプ ■お客様のご要望に応じたカスタマイズが可能 ■水と空気のみで洗浄し環境負荷を低減 ■化学合成物質を使用せず、低コスト ■マイクロバブルを用いた高い洗浄性能 ※詳しくはPDF資料をダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
機械部品の脱脂洗浄や異物除去に！水と空気のみで洗浄し環境に優しい洗浄装置
バレル型マイクロバブル洗浄装置（バブ・リモ(R)）は、精密部品や 機械加工部品の脱脂洗浄や、異物除去に用いられる洗浄装置です。 水中で生成させた微細な気泡（マイクロバブル）を利用しており、 従来の工業用洗浄に代わる、安全で環境にやさしい洗浄を実現します。 洗浄には化学合成物質を使用せず、水道水などで洗えるため、 優れたランニングコストを実現します。 【特長】 ■縦回転バレルで小物部品の洗浄に最適なタイプ ■部品を均一に、効率よく洗浄 ■エアブローによる水切り機能、熱風による乾燥機能を搭載することで、 洗浄から乾燥までの工程を本装置１台で実現 ■水と空気のみで洗浄し環境負荷を低減 ■化学合成物質を使用せず、低コスト ■マイクロバブルを用いた高い洗浄性能 ※詳しくはPDF資料をダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。
スクリーン版／メタルマスク版を壊さない 臭いを漏らさない 環境と人に優しい挟み込み部分洗浄方式のACTシリーズ
１．スクリーン版／メタルマスク版の性能維持 版の金属枠とマスクの接着部分に洗浄液がかからないため、 テンションが緩む事象および接着部分剥がれを回避。 ２．臭いの漏えい防止 部分洗浄方式により、洗浄～乾燥の全ての工程で洗浄液の臭いを遮断。 ３．高い洗浄能力 洗浄ムラの無いようなノズル配列のスプレー洗浄方式の採用。 ４．作業者の健康への配慮および環境への配慮 人体に無害で大気を汚染しない洗浄液でも、 高い洗浄能力、短時間での乾燥を実現。 ５．高い安全性 引火点のない安全な洗浄液でも確実に洗浄・乾燥ができる構造。 ６．保守性 シンプルな構造で専門の保守要員を必要とせず、 消耗品交換程度で長期間安定稼働。 7．洗浄から乾燥までの自動運転
パワフルな洗浄力で効率的な作業
HD 13/15 S は、200V電源で使用可能な業務用冷水高圧洗浄機です。シリーズ最高スペック（吐出水量1320L/h、吐出圧力15MPa）の冷水高圧洗浄機です。建築現場、大型機械の洗浄などで威力を発揮します。
湿式スクラバーや、乾式スクラバーなど！FRP製スクラバーのご紹介
当カタログでは、一体型FRP製で円型にすることで、風の衝撃をやわらげ 耐荷重性にも優れた排ガス洗浄装置を掲載しております。 さまざまな排ガス処理に高性能で対応できる充填式の「湿式スクラバー GSシリーズ」や、実験過程において排出される酸性・アルカリ性ガスの 中和処理用に開発された「移動型 湿式スクラバー」などをラインアップ。 そのほか、主にドラフトチャンバー内で発生する有毒ガスを、ドラフト チャンバー本体と一体化したかたちで処理が可能な「乾式スクラバー HFシリーズ」もご紹介しております。 【掲載製品】 ■湿式スクラバー：GS/HSシリーズ ■移動型 湿式スクラバー HSS ■乾式スクラバー：HF/GFシリーズ ■移動型 乾式スクラバー：HFFシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に削減【半導体業界向けウェットプロセス装置】半自動装置
当社の半自動装置は、高性能、効率的な化学物質の再循環、設置面積の最小化、スペース効率の最適化で際立っています。 【特長】 ■最大150wphのスループット ■設置面積2m2未満 ■タンクシステムによる化学物質の再循環 ■SiC/GaNでプロセス実行可能 ■25枚または50枚ウェーハのチャンバーを使用可能 ■抽出可能なプロセスチャンバー ■ATEX安全規格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
油のこびりつきや頑固な汚れに好適な高圧温水洗浄機！「高効率」蓄圧式ステンレスボイラーを搭載
当製品は、土木建設・工事現場、農業、林業、産業廃棄物処理、ビルメンテ ナンスなど様々な業界で力を発揮する高性能な「高圧温水洗浄機」です。 冷水・温水切換え機能で、ガンコな汚れ油分も高圧温水ですっきり。 幅広い用途に適応する製品です。 また、お客様から供給いただいたスチームにより温水をつくり 高圧洗浄が可能な工場蒸気熱源式の「TRY-3HWST2」もご用意しております。 【特長】 ■高温水洗浄ができ頑固な油汚れの洗浄に好適 ■高温洗浄が可能で食品工場等の除菌・殺菌に効果的 ■純国産で有光オリジナルSUSボイラーヒートコイル式にて耐久性が高い ■冷水/温水洗浄選択可能 ■圧力3～10MPa調整可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
