チップ洗浄機
2流体でウェーハを徹底洗浄します。
純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 ■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 ■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 ■歩留まりに貢献
- 企業：レイリサーチ株式会社
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
洗浄機(搬送) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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洗浄機の製品一覧
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精密洗浄機『APS-HQシリーズ』
連続搬送式でランダム投入可能！人にも環境にも優しい精密洗浄機
『APS-HQシリーズ』は、洗浄ワークを上下から洗浄することでムラのない 洗浄が可能な精密洗浄機です。 洗浄ワークは水中を貫通するため、汚れの再付着を防ぎます。 また、中高圧揺動シャワーでムラのない洗浄ができ、洗浄ワークに合った ノズルを選定いたします。 【特長】 ■上下対向超音波波振動子 ■サインジェット ■吹き飛ばし乾燥 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社AQUAPASS
- 価格：応相談
ニッコークリエート インデックス式脱脂洗浄機
自動ライン内に設置し、搬送装置が自動でワークを搬出入します。
2種類のワークを同時にセットし、ノズルを下降し回転させながら電子ビーム前脱脂洗浄をしています。
- 企業：株式会社ニッコークリエート 大柿工場
- 価格：応相談
超音波ホッパー向け新型超音波ユニット『フローソニック』
粉体装置全体の能力向上、騒音や振動の少ない生産現場を実現！粉体搬送での配管、定量供給などの構造部材に超音波振動を印加可能です。
粉体搬送の現場においてブリッジ、ラットホール、付着による 粉体ハンドリングの問題が発生した場合は、品質上の問題や生産中段を 防ぐためにも、粉体排出補助装置を適時に設置する事が求められます。 アーテックの革新的な『flowsonic』ソリューションを使用する事により、 粉体装置全体の能力向上と共に騒音や機械的振動の少ない生産現場を実現します！ ホッパー側面に超音波コンバーターを接続するだけで、ホッパー内壁全体に 超音波微振動を発生させ、粉体付着を防止し流動性を確保します。 粉体搬送での配管、シューター、サイロ、定量供給等、様々な構造部材に 超音波振動を印加させる事が可能です。 【特徴】 ■粉体付着を防止し流動性を確保 ■騒音や振動の少ない生産現場を実現 ■超音波振動を印加可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：ユーシー・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置
基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置は、基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理 ○基板傾斜水洗機能による自然落下、置換の高効率化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社電子技研
- 価格：応相談
【トラブル改善事例】油汚れ
製紙工場の紙搬送ベルトに付着した油汚れを90％以上洗浄除去した事例
製紙工場における紙を搬送するベルトにマシン油が多量に付着し、 品質トラブルの原因となっていました。 そこで、工程洗浄剤『ニュートロンIAS』を使用。 欠陥の原因となっていた油汚れの90％以上の除去に成功しました。 その結果、品質トラブルは従来の1/5に減少し、作業に関わる危険性が 解消されました。 【事例概要】 ■お悩み ・製紙工程の紙搬送ベルトに油汚れが付着し、これが紙製品に移転するため、 作業員が定期的に手作業で洗浄していたが、作業環境が悪く危険を伴う ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社日新化学研究所 高槻本社工場
- 価格：応相談
ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700
ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置
「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」
ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
- 企業：株式会社ダン科学 入間営業所
- 価格：応相談
全自動倒立タイプ 容器自動供給 MS-A02
排出コンベアより正立状態で次工程に搬送する全自動タイプのエアクリーナー！
『MS-A02』は、多品種少量生産に好適なエアー洗ビン機です。 コンベア上に供給されたボトルをテーブル内に上下180度反転供給し 洗浄後は再度反転。容器を倒立させリングブロワーにより吸引しながら クリーンな圧縮エアーで、容器内をエアー洗浄します。 排出コンベアより正立状態で次工程に搬送する全自動タイプです。 【特長】 ■コンベア上に供給されたボトルを テーブル内に上下180度反転供給 ■多品種少量生産に好適 ■排出コンベアより正立状態で次工程に搬送 ■クリーンな圧縮エアーで容器内をエアー洗浄 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クリエイター9000横浜
- 価格：応相談
多槽式ウェハ洗浄装置
RCA洗浄や各種エッチングに対応！薬液・純水の使用量やフットプリントを大幅に削減します
当製品は、キャリアレスとキャリアタイプをラインアップした 「多槽式ウェハ洗浄装置」です。 キャリアレスタイプは高清浄度な洗浄に対応し、薬液や純水の 使用量とフットプリントを大幅に削減。キャリアタイプは1バッチ の搬送カセット数を1または2カセットから選択できます。 酸系薬液用処理、アルカリ系薬液用処理、有機系薬液用処理の 各プロセスによる装置構成が可能です。 【多槽式キャリアレスの特長】 ■ワークサイズは、6インチ、8インチ、12インチウェハに対応 ■キャリアレス搬送により成膜前洗浄などの高清浄度な洗浄に対応 ■薬液や純水の使用量を大幅に削減 ■フットプリントを大幅に縮小 ■乾燥はIPA乾燥、温水引き上げ・IR乾燥、マランゴニ乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーはカセットまたはFOUPに対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社LC
- 価格：応相談
洗浄機の特長
水だけで洗浄できるとは誰も思わなかった！まずは洗浄テストでお確かめください！
洗浄機の特長として開発コンセプトをご紹介します。 自動化(インライン化)できる洗浄機として、ドラム搬送式を採用。 コンベアで搬送しながら洗う洗浄機は、各社にあります。 洗剤→市水→純水(RO膜)と進み、溶剤(炭化水素)を使用せず、水だけで 洗浄できます。 無償洗浄テスト実施しています。 まずは洗浄テストでお確かめください。 【洗浄する油】 ■押されて付く(大気、重力) ・表面張力 ■吸い付く(2つ異物体が電気的に引き寄せ合う) ・ファンデルワールス現象 ■引っ掛けて付いている(金属表面は平らではない) ・アンカー現象 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社平出精密 洗浄機事業部
- 価格：応相談
ウエハー自動洗浄装置 カセットレス自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置
ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表裏・側面の同時洗浄に加え超音波シャワー等の組合せも対応
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
- 企業：株式会社テクニカルフィット
- 価格：応相談
300ｍｍカセットレス洗浄装置
ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用 ／ 50枚を一括処理 ／ 19nμm/5個の高清浄度を達成
＜装置概要＞ 本装置はファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用する装置です。特徴は25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理します。19nμm／5個の高清浄度を達成しています。
- 企業：株式会社ダン科学 入間営業所
- 価格：応相談
スクリュータイプ『野菜洗浄機』
カット野菜を洗浄・搬送するのに適したスクリュータイプの野菜洗浄機
本製品は、カット野菜を洗浄しながら、搬送することが出来る スクリュータイプの洗浄機です。 バケットタイプに比べ高速で、連続運転が可能。上下噴射洗浄式に比べ、 スクリューで回転・かくはんするため洗浄ムラがありません。 オゾン水やそのほかの処理水などと組み合わせることにより 洗浄・殺菌が同時に可能になります。 【特長】 ■洗浄物や作業性に合わせて自由に設定できるコンベヤー速度 ■高耐久を誇るSUS304配管・架台 ■ポンプやモーターもしっかりガード ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：旭調理機株式会社
- 価格：応相談
