フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置
パーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空超音波洗浄機。純水洗浄からの切替えが可能です。
真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易であり、装置の小型化、消費電力の削減などコスト面でも優れた性質を持っています。 弊社は洗浄液として優れた物性を持つフッ素系溶剤の専用機としてザウバーを完成させました。 （SAUBER/ザウバーの特長） ・真空洗浄・真空乾燥を行い、システム全体を減圧下でコントロール。 ・洗浄槽は4面オーバーフローを採用。 ・真空洗浄中にオーバーフローをした液は常時フィルタリング。 ・洗浄槽への給液には全量フィルターを通した液を供給。 ・真空洗浄中の上下揺動で洗浄効果UP。 ・最大4周波（40，80，120，170kHz）の超音波を各工程でレシピ選択可能
- 企業：富士ハイテック株式会社
- 価格：応相談
