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コンベア速度やランプ強度分布・交換時期の管理に使用することにより、お客様の歩留まり向上が図れます
M1026VR-T2Tは、硬化(キュアリング)、電気・電子部品用のシーリングや接着処理、プリント基板の印刷・乾燥・実装ライン、各種産業における殺菌工程等で使用されるUV照射装置のランプ強度管理に最適です。 ※各種受光部・表示部はそれぞれ別売となっておりますので、用途に合わせて受光部を選択し表示部と組み合わせてお使い下さい。 受光部は目的の波長に合わせて4タイプを用意（ご購入時に選択ください。）4タイプの受光部を自動認識する機能搭載。
●UVA/UVB ●2レンジ切替機能 ●ローバッテリー表示 ●オーバーレンジ表示
●紫外線波長領域は290nm～390nmをカバー(UVA領域とUVB領域) ●Loレンジで1,999μW/cm2以下を高精度測定 ●センサは使いやすい分離型
瞬時の硬化を実現！パルス発光による環境配慮型高出力紫外線照射装置！自動製造ラインに組み込みも可能です！
『UVflasher TX2000』は、紫外線を強力なパルス発光により照射し、 連続発光方式と比べて熱の発生が少なく、遥かに短い時間で 樹脂の硬化を実現した紫外線照射装置です。 キセノンガスを使用しているので、環境負荷が少なく、発光電圧、 発光パルス数などを目的に合わせて容易に設定変更が可能。 専用ソフトが標準で付属されているので、導入後直ちに使用できます。 当製品は、単体での使用以外に、自動製造ラインに組み込むことが容易ですので、 生産性の向上に寄与します。 【特長】 ■キセノンフラッシュランプを使った高効率な紫外線照射装置 ■高出力の紫外光を短時間に照射し、瞬時の硬化を実現 ■被照射体の熱変形や熱変質のダメージを抑制 ■他方式の光源に比べて大幅な消費電力の低減に貢献 ■電源投入後の立ち上がりが早く、即時に稼動が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
裏面アライメントがないので低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に最適な装置を実現しました。
『AMA6000』は、自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。 ASAPのマスクアライナーはマスクと完全非接触でウェハとのギャップ管理を行います。 非接触もできますが、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 低価格、コンパクト、簡単操作を実現しました。 【特長】 ■完全非接触での平行出し&露光 ■省スペース&簡単メンテナンス ■オートアライメント ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究開発から、少LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案！
株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 少ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマスクアライナー」など、 優れたローコストな露光装置を多数取り揃えております。 ＊詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ESシリーズのローコスト片面アライナー
お客様の仕様やご予算にあわせて最適なマスクアライナーをビルドアップ。各種ユニットやオプションの中から必要なものだけを選択することで無駄なコストを抑えた使い易い装置が構成できます。ご要望を伺い、最適な仕様をご提案致します。 またほとんどのユニットが後から追加・交換できますので将来のグレードアップや初期導入コスト削減も可能です。2タイプのUV光源装置から選択できます。（露光サイズ各種）φ1～4インチ試料対応（角形試料等カスタム形状にも対応）し、□2～5インチマスク対応です。また、CCDカメラ、実体、接眼タイプ等各種観察顕微鏡から選択できます。コンパクトでローコストです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ローコストでフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナー
実験・研究用マスクアライナー ES410は、ローコストながらフォトリソグラフイに必要十分な機能を持ったマスクアライナーです。フルマニュアル機で各種実験、研究、フォトリソグラフイの学習などにご使用頂けます。ESシリーズならではの幅広いカスタマイズ性を備え、各種ユニットやオプションを選択することで、さらに目的にフィットした装置にセットアップ可能です。ほとんどのユニットが後から追加・変更できますので将来のグレードアップにも対応致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
コンパクト微細露光スタンダード機。4/6/8インチ標準マスクアライナー
高性能マスクアライナー LAシリーズは、4/6/8インチ標準マスクアライナーでコンパクトな微細露光のスタンダード機です。半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、微細度の高いパターン露光ができる露光装置です。専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載し、対物レンズ間隔最小18mmで小型試料のアライメントまで可能です。ワイプ装置による2視野一括モニター表示可能で、Z軸はエアー圧駆動＋ギャップ微調整レバー方式です。ハードコンタクトソフトコンタクト・プロキシミティー露光に対応。平行機構は信頼性の高い球面軸受を採用したコンパクトで高い汎用性です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ウェハ表裏同時露光。セミオート動作で中ロット生産に対応！
両面同時露光マスクアライナー BS320は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプルで応用が利くモデルです。各種ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。二次露光以降は片面露光となりますので別途「試料台」が必要になります。二次露光以降も両面同時露光可能なBS320uもラインアップしています。セミオート動作で中ロット生産に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応
両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』は、研究開発から小中ロット製造用として多くの出荷実績がある両面同時露光式マスクアライナーです。 一次露光は両面同時、二次露光以降は片面づつ露光する方法を採用するため、シンプルで応用が利き、ニーズに合わせたカスタマイズも承ります。 二次露光以降は片面露光となるので別途「試料台」が必要です。 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最大φ4インチウェハ対応『BS425』 ■最大φ6インチウェハ対応『BS620』 ■コンパクト設計 ■1次露光時はフットスイッチによりセミオート運転が可能 ■手置き式のため規格外形状試料への対応が容易 ■ウェハ位置決めガイド搭載（オプション） 他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広いUV硬化接着剤に使用可能
高出力であらゆるUV硬化型接着剤に対応。 320nm未満の短波長まで紫外線を制御することができます。 安定性を維持するために光出力とシャッタースピードは常に制御されており、 高速照射も可能です。 ≪特長≫ ・幅広い紫外線波長出力 ・高速照射（最短0.2秒） ・光出力の制御（閉回路型フィードバック） ・シャッター監視
UV-Stick(TM)は、３６０度に照射可能な今までにないUV-LED照射モジュールです【特許出願中】
UV-Stick(TM)は光源にUV-LEDを使用していますが、ランプのように360度に発光することができるUV-LED光源モジュールです。また、発光部の発熱もなく、広範囲に長時間照射することができます。発光部に石英ガラスを使用しているので、深紫外LEDを実装することにより、300nm以下の深紫外(UVC)領域も照射することができる新しいタイプのUV-LED光源モジュールです。 【特徴】 ・360度に光を照射：広範囲の照射に最適 ・長時間照射が可能：少量のLEDのため、光源の発熱による熱の影響少ない。 【用途】 ・殺菌用途、農作物の病害虫の防除、樹脂の硬化/接着、光化学反応など…
両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能
ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。
