高エネルギーのエキシマ(VUV)光により、短時間でダメージレスな洗浄・改質を実現します。熱の影響を最小限に抑えた低温処理。
当製品は、ガラス、基板からフィルム、シートなどの表面を化学的に洗浄、改質することができる装置です。 水銀不使用・誘電体バリア放電励起方式のランプを採用しており、発光時のランプ温度が低く、かつ172nmの単一波長のため熱の影響を最小限に抑えた低温処理が可能です。高濃度の活性酸素種や各種ラジカルを短時間で生成し、同時に基材上の有機物の化学結合を切断して酸化分解・揮発を促すことで、ダメージを最小限に抑えて高精度・短時間での有機物除去が可能です。また、処理が必要なタイミングでの瞬時点灯が可能で、環境負荷低減やランニングコスト削減に貢献します。 【特長】 ■高フォトンエネルギー ■単一波長 ■低温照射 ■瞬時点灯点滅 ■水銀不使用 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■光源：エキシマランプ（誘電体バリア放電励起方式） ■波長：172nm (Xe2* Type) / 222nm (XeCl* Type) / 308nm (XeCl* Type) ■172nmVUV光エネルギー：166.7kcal/mol ■構造例：平管/丸管 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途・実績例】 ■ガラス、基板、フィルム、シート等の表面洗浄・改質 ■コーティングや接着前の有機物洗浄・有機物除去 ■基材の親水化 ■オゾンによる酸化処理 ■プラスチック樹脂の表面処理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
加熱、硬化、洗浄、改質、表面処理、接着、露光、照明、治療、計測、測定・・・「光」のことなら、ウシオにお任せください。光源からユニット、光の装置まで、独自の光技術で、お客さまの目的や用途に応じた最適な「光」をご提案いたします（共同実験、共同研究、デモ機・実験機のお貸し出しも承ります）。
