プラズマ関連製品 RFプラズマ源 ERFS-501
ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験等にご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。
- 企業:アリオス株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2026年09月16日~2026年10月13日
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ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験等にご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。
TACシリーズの特長をそのままに!大幅な小型化とコストパフォーマンスを実現
『WINTAC-mini』は、内蔵コンプレッサーが止まった時や、 工場エアーが余っているときに外部エアー供給に切り替えての 経済運転が可能なオイルフリーベビコン内蔵窒素ガス発生装置です。 タッチパネル操作で簡単にオペレーティングが可能。 この他に、『WINTAC-mini』と同じ性能を維持しながら、機能面をシンプルに マイコン制御で低価格を実現した「WINTHP」もご用意しております。 【WINTAC-mini 特長】 ■インバーター内蔵 省エネ運転 ■長いメンテナンスサイクル ■外部エアー運転・緊急時運転が可能 ■Ethernet機能搭載 ■高性能・省スペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オゾンパワーによる強力な脱臭・除菌!効果のいきわたる拡散ファンを内蔵
京阪奈技研株式会社では『オゾン発生器』を取り扱っております。 窒素酸化物のないUV方式を採用した「サンオゾン」をはじめ、オゾンパワーで かゆみを低減することができるオゾン水生成器「サンオゾンピュアゥオータ」 など、各種製品をラインアップ。 用途に合わせてお選びいただけます。 【特長】 <サンオゾン> ■窒素酸化物のないUV方式採用 ■効果のいきわたる拡散ファン内蔵 ■発生量選択スィッチ付 ■家庭用100v電源で動作・取扱容易 ■10~20m2の室内をカバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
小さな泡の力。特異な性質を持ち、排水処理、浄水、冷却、攪拌、混合など様々な分野で幅広く活用出来ます
『EIB(マイクロ・ナノバブル)発生装置』は、気体を効率良く液中に 溶かすことの出来る、省エネルギー装置です。 汚れや水質に影響されない耐久性と酸素、窒素、二酸化炭素、水素、 オゾンなど気体を選ばない汎用性を兼ね備えています。 装置は、乾電池で動く小型モデルから海での使用に対応する大型モデルまで ご用意しております。 【特長】 ■省エネルギーで平均気泡径1~10μmの気泡を大量に供給 ■EIB生成に必要なものは、僅かな液流速と気体供給圧だけ ■酸素、窒素、二酸化炭素、水素、オゾンなどを微細気泡化できる ■どんな水質環境でも、使用できる汎用性と耐久性を兼ね備えている ■標準装置以外にもサイズ、形状など用途に応じた設計・製作が可能 ■装置主要部に複合セラミックを使っており、金属のような熱膨張が少なく、 腐食、劣化がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
防滴構造で屋外設置可能!従来機より制御を一新。使いやすく発生量、吐出圧力がアップした窒素ガス発生装置
◆マイコン制御、オイルフリーミニコンプレッサを内蔵したシリーズです。装置保証は一年間(コンプレッサは4,000時間) ◆さらに流量調節にも定流量調節弁を標準装備しているので2次側の圧力変動の影響を受けません。 ◆マイコン制御回路を一新! LCD表示部の情報量アップ! ◆国内メーカー製低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサを採用し、従来機種に比べ流量で10~20%の性能アップ、吐出圧力も大幅アップ! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
食品加工時の酸化抑制に効果を発揮!循環洗浄によって簡単に洗浄できるUFB(ウルトラファインバブル)発生装置
当社が取り扱う、静止型流体混合式UFB(ウルトラファインバブル)発生装置『ミナバブルUF-1』をご紹介。 新規に設計した静止型混合装置による加圧減圧とせん断力の相乗効果で、 効率的にUFBを発生させることが可能。 純水・お茶・果汁・空気・窒素・酸素など様々な液体・気体に対応し、 組み合わせにより、食品加工時の酸化抑制等の効果に期待ができます。 【窒素UFBの期待される効果】 ◆飲料(果汁・お茶・清酒)に応用することで、 色調、風味の優れた(保存時の劣化が少ない)製品を得ることができる。 ◆醤油の酸化を抑制して、タレ・つゆの変色を抑制。 ◆好気性微生物の増殖を抑えることができる。 ◆機器、設備の洗浄時に、洗剤や薬品の使用を減らすことができる。 ◆油に含まれる溶存酸素を減少させて、加熱時の劣化を抑制。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
上位機種と同じ性能を維持しながら機能面をシンプルにマイコン制御で低価格を実現!
『WINTHP』は、マイコン制御でオイルフリーベビコン内蔵の 窒素ガス発生装置です。 国内メーカー製、三相モーターを使用したオイルフリーベビコンを 搭載して信頼性と耐久性がアップ。 ユニット切替弁にはエアーオペレートバルブを採用しPSAユニットの メンテナンス周期は20,000時間の長寿命で、コンプレッサーは 連続運転で10,000時間の耐久性を持ちユーザー様でも簡単に交換可能です 【特長】 ■ハイコストパフォーマンス ■オイルフリーベビコン内蔵 ■インバーター内蔵 設置場所を選ばない ■長いメンテナンスサイクルで経済的 ■外部エアー運転・緊急時運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スタートボタンを押すだけで、窒素ガス(酸素ガス)が出てきます!
「オイルフリーコンプレッサー内蔵 超小型ガス発生装置」は、 消費電力が少なく、低振動・低騒音の製品です。 超小型電磁弁ユニットを採用。電磁弁を小型化することにより、 メンテナンス性が向上。 酸素濃度計を標準搭載し、酸素濃度を連続モニタリングでき、 ガス流量をデジタル表示します。 【特長】 ■卓上型"窒素・酸素ガス"発生装置 ■必要なのは100Vのコンセントだけ ■コンプレッサー内蔵 ■高寿命 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
単相100V仕様コンポジットタイプの窒素ガス発生装置です。
LC/MS専用N2発生装置 Model30Fは、最大流量30L/minで、47dB(A)の静粛性、更に高さ68cmのコンパクト性を兼ね備えたLC/MS用窒素ガス発生装置のスタンダード機です。 【特徴】 ○SIC仕様の高耐久性コンプレッサ搭載 ○電源は単相100V仕様 ○排水は手間の要らない内部処理 ○高さ68cmで実験台の下にも入る高さ ○47dB(A)の静粛性 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
除菌・脱臭・ウイルス対策はおまかせ!手軽に持ち運び、手軽に減菌脱臭が可能!
『クリーンデイ』は、除菌・脱臭・ウイルス対策をすることができる 石英ランプ式オゾン発生機です。 老人ホーム、病院、診療所などの脱臭をはじめ、空気減菌や二次感染防止、 ウィルス対策などの用途に使用可能。 窒素酸化物の発生が少ない低電圧石英ランプ方式を採用しております。 【特長】 ■窒素酸化物の発生が少ない低電圧石英ランプ方式を採用 ■8,000 時間の耐久性と低価格石英ランプ方式 ■機器本体内で紫外線除菌効果とオゾンによる脱臭、 除菌効果のツインパワー ■手軽に持ち運び、手軽に減菌脱臭 ■タイマー標準装備(90分) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
屋外設置可能でコンプレッサ内蔵型の窒素ガス発生装置!屋上、階段下、空きスペース等、設置スペースを選びません!
『GENE-BASEシリーズ』は、ガス発生装置のコフロックとコンプレッサの 北越工業との技術融合から誕生した、屋外型の窒素ガス発生装置です。 低純度から高純度までラインアップし、お客様のご要望に合わせたご提案が可能です。 屋内外設置に対応し、屋外では45℃の高温環境下でも連続運転可能。防水性能はIPX3相当です。 装置内にコンプレッサを内蔵しているため、コンプレッサ室などの建造物が 不要となり、設置コストの大幅な削減が見込めます。 【特長】 ■屋内・外設置型 ■インバータ スクリューコンプレッサ 組込型 ■45℃の屋外環境下で連続運転が可能 ■N2ガス+圧縮空気を同時供給対応(業界初) ■60dB(A)以下の低騒音運転を実現(業界初) ■省エネ機能が進化(気筒休止システム) ■ドレン水の油水分離機能をパッケージ内に標準装備(業界初) ■メンテナンス性を考慮した、省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネ機能搭載で窒素ガス発生量20~180N㎥/hの大容量を実現!外部エア供給型です。
『NE IIシリーズ』は、20-180N㎥/hの発生量をコンパクトな筐体設計で 可能とし、プロセスの改良により、窒素ガス発生量を従来機種比で約36.5%アップしました。 パネル扉の採用により、前後左右のメンテナンススペースが600mmのみで、 余分な設置スペースを排除できます。また、メンテナンスエリアは 装置右側面に集約されています。 【特長】 ■N2発生量が最大36.5%増加 ■1N㎥辺りの消費電力を最大26.4%削減 ■省スペース設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高吐出圧力・低騒音・高さを抑えた省スペース設計!省エネ制御の窒素ガス発生装置
多様なラインナップを取り揃えています。 ◆製品ガス使用量に応じて原料空気を低減させる省エネ運転特許技術と複数のPSAユニットを制御する台数制御省エネ運転特許技術を活用した集大成! ◆発生量に応じてユニットの稼動台数と吸脱着時間を切り替えて、純度を維持したまま原料空気を低減させる省エネ運転モードを搭載、タッチパネルを使って簡単に設定を行うことが可能です。 ◆中国語、韓国語、英語にも標準対応。 ◆高吐出圧力・低騒音・高さを抑えた省スペース設計。 ◆高耐久で長いメンテナンスサイクルを実現!【約2年間(=20,000時間)】 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
1日20分で無理なく手軽に!空気中の酸素窒素を分離して約40%以上の高濃度酸素を発生
当社では、高濃度酸素機器を各種取り扱っております。 空気中の酸素窒素を分離して高濃度酸素を発生させます。 吸引することで、血中酸素濃度95%以上を保つことが期待でき、 また、リフレッシュや疲労回復、健康体維持の目的で使用されています。 介護施設や整体・接骨院、ご自宅でのリモートワーク中、 車内の気分転換、運動の前後などといった場面に。 ご用途に応じ、各種製品をご用意しております。 【ラインアップ】 ■酸素濃度40%以上 小型高濃度酸素発生器「Oxy'z」 ■酸素濃度50%以上 日本製「Oxy'zII」 ■酸素濃度90%以上 超高濃度酸素発生器「PSA-3000」 ■携帯用濃縮酸素缶「oxygen can」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
業界最高レベルのバブル量、溶解効率!通水量の約30%の気体をマイクロバブル化
『YJノズル』は、超微細気泡を発生させるエジェクター式の マイクロバブル装置です。 ポンプ圧入によりノズル内に送り込まれた液体と、同時に 自吸された気体をノズル内に刻まれた特殊細路で混合させることにより、 液体中に自吸気体をマイクロナノバブルとして留めます。 この液体と気体の組み合わせにより、様々な用途にご使用できます。 【構造的特長】 ■吸水口と吸気口とマイクロバブル噴出口のみのシンプルな構造 ■通水径が大きいストレート構造で自然環境下の使用でも目詰まり無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネルギーで平均気泡径1~10μmの気泡を大量に供給します!
『EIB-Rシリーズ』は、小型、中型水槽に適した回転式のEIB発生装置です。 EIB発生装置は、気体を効率良く液中に溶かすことの出来る 省エネルギー装置で、汚れや水質に影響されない耐久性と酸素、窒素、 二酸化炭素、水素、オゾンなど気体を選ばない汎用性を兼ね備えています。 【装置の特長】 ■EIB生成に必要なものは僅かな液流速(1m/s)と気体供給圧(0.1Mpa 以下)だけ ■酸素、窒素、二酸化炭素、水素、オゾンなどを微細気泡化できます ■どんな水質環境でも、使用できる汎用性と耐久性を兼ね備えています ■標準装置以外にもサイズ、形状など用途に応じた設計・製作が可能です ■装置主要部に複合セラミックを使っており、金属のような熱膨張が 少なく、腐食、劣化がありません ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
卓上サイズの小型筐体を採用!窒素純度95~99.999%に対応!分析・培養機器、はんだ付け装置等へ最適なシリーズです。
『Mini-CUBEシリーズ(MNTS)』は、95~99.999%の純度に対応した小型の 窒素ガス発生装置です。 超小型ボディーは卓上設置が可能。また、DCインバーター制御の コンプレッサーを採用し、省エネ機能を標準搭載しました。 周辺機器に違和感のない新デザインも特長で、分析・培養機器、 はんだ付装置への付帯装置として最適なシリーズです。 【特長】 ■発生量を20%増加し、小型、軽量化を実現(310×392×310mm) ■電源接続後、スイッチひとつでガスを供給 ■静音モデル 装置正面55dBを達成 ■省エネ機能搭載 ■単相AC100V-240Vに対応 ■新デザインを採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
脱臭・カビ防止に好適!さまざまな施設にご使用いただけるオゾン発生機。紫外線殺菌ランプ2本内蔵で強力に脱臭・除菌。
『UVクリーン』は、窒素酸化物の発生が少ない低電圧石英ランプ方式を 採用した壁掛け型のクリーンなオゾン発生機です。 機器本体内で紫外線除菌効果とオゾンによる脱臭・除菌効果のツインパワーを発揮します。 またオプションにより、それぞれの環境条件に適合するランプ出力、本数の変更が可能です。 【特長】 ■静音 ■窒素酸化物の発生が少ない ■低電圧石英ランプ方式を採用 ■10,000時間の耐久性 ■紫外線除菌効果とオゾンによる脱臭・除菌効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
三相200V仕様のコンポジットタイプ窒素ガス発生装置です。
近年のLC/MS分析の高感度化にともない、より多くのN2流量が要求されています。 その要求にお応えした三相200V仕様一体型窒素ガス発生装置、それが『LC/MS専用N2発生装置 Model12CP/Model20CP』です。 【特徴】 ○三相200Vコンプレッサーの堅牢性 ○最小の装置設置面積 ○39Lと20L容量のエアタンクを内蔵 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
各種半導体検出器冷却・コールドトラップに最適
少量のLN2の補給管理は何かと煩わしいもの。 ミニPSAなら、水と電気さえあれば、どこでも簡単にLN2を作れます。 原料は空気です。
Ecoモード搭載!窒素ガスの使用量により、最大49%の電力を削減します
『NTEシリーズ』は『NTシリーズ』の後継機種で、発生量・圧力等の機器性能を大幅に向上した他、 タッチパネル面の標準搭載により、機能を充実させました。 また、本機種で採用しておりますEcoモードは特許取得済みです。 【特長】 ■高機能化を実現 ■省スペース設計 ■静音型モデルなので装置正面の騒音値60dBを達成 ■メンテナンス性の向上 ■フリー電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
車室内部品の放散試験に好適!サンプリングバッグ洗浄を全自動化した専用装置
『SHC-3/SHC-3A』は、お手持ちの乾燥機に取り付けることで簡単に 加湿洗浄をおこなうことができるサンプリングバックコンディショナです。 加湿ガスと乾燥ガスの導入時間等、簡単なパラメータを入力するだけで、 同時に3枚までのサンプリングバッグを洗浄することができ、 全自動化により、人件費や夜間使用による電気料金の節約が期待できます。 また、捕集管のコンディショニングをより簡単・効率的にした熱脱離装置 専用チューブコンディショナ「TCS-20」もご用意しております。 【SHC-3の特長】 ■確実な洗浄効果 ■加湿から乾燥までを全自動化 ■低ランニングコスト ■高加湿による洗浄効果と時短化 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
マイクロナノバブル発生装置『YJノズル』目詰まりなし!通気量の30%の気体を混入できる!YJマイクロバブル試験データプレゼント
マイクロナノバブル発生装置『YJノズル』は、水中ポンプなど一般汎用ポンプで給水するだけで マイクロナノバブルを含んだ大量の曝気水を放出できるマイクロナノバブル噴射ノズル。 通気量の30%の気体を混入させることができ、 工業プロセス用途や排水処理でのメンテフリー使用が可能です。 マイクロナノバブル発生装置『YJノズル』 空気、酸素、オゾン、水素、窒素、炭酸ガスなど 各種ガスの液中におけるマイクロナノバブル化 ・排水処理の調整槽、曝気槽での高効率曝気・マイクロナノバブルの帯電効果による凝集剤の低減効果、汚泥減容効果 ・マイクロナノバブル発生装置『YJノズル』による湖沼浄化、ダム湖浄化、地下ピットなど臭気の低減 ・バラスト水の殺菌処理やCOD、BOD低減、炭酸ガスなどによる中和処理 ・ガス溶解プロセス用ラインミキサー(サニタリにも対応) ・水に蒸気マイクロナノバブルを混入し、スチームミキサーに応用 ・水産物、農産物の育成促進、鮮度維持 ・高濃度酸素水、オゾン水、高速酸化反応の混合ノズル ・各種洗浄用途(野菜洗浄、洗濯機、部品洗浄他) ・浄水場、下水処理場(各種高効率オゾン殺菌)など
においの微粒子を捕捉し分解無臭化。目に見えない細菌やウイルス・カビ類も科学的に無害化し、クリーンな環境をつくります。
ソフトエネルギー株式会社より「クリーンデイ」のご案内です。
雰囲気ガスとRXガスの処理温度によるマッフル脆化防止の実現。マッフルの寿命を延ばすことが可能になりました
マッフルを改良することでメタルダスティング事象によるマッフルの脆化を防ぐことができました。 【導入前の課題】 マッフル内の雰囲気とRXガスの処理温度によりマッフルが割れる 【導入後の効果】 マッフルの材質変更と部分的な厚み調整、配管との接続方法を工夫したことによりマッフルの寿命が延びました 【特長】 ● 水素ガスや窒素ガスのコストを抑えることが可能です。 ● 排ガスを二次利用することも可能です。 【仕様】 吸熱型変成ガス発生装置(RXガス) 生成できるガス:窒素 / 水素 / 一酸化炭素 / 二酸化炭素 RX:1050℃ 製作可能スペック:20~60㎥/h 【その他導入事例】 ■ 還元性ガスのコストを抑えたい →『AXガス発生装置』 ■ 雰囲気の炭素濃度を調整したい →『RXガス発生装置』 ■ アルミを光輝焼鈍したい →『DXガス発生装置』 ■ 安価にN2雰囲気を製作したい →『N2発生装置 PSA』 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AWGを使用した、ドイツ・シュトゥットガルト大学の物理学部の例!。総合カタログと事例資料を進呈中
ドイツ・シュトゥットガルト大学の物理学部にて、AWGを使用した ダイヤモンド内の単一原子実験のアプリケーション例をご紹介いたします。 同大学は、ダイヤモンド内の単一原子を窒素原子に置き換える 実験のために、Spectrum製任意波形発生器を選択しました。 この方法は、原子レベルの磁場検出器や量子コンピュータのQubit (量子ビット)などのアプリケーションの基礎となります。 【概要】 ■単一原子の除去 ■任意波形ジェネレータの選択 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
オイルフリーコンプレッサ内蔵!小型窒素ガス発生装置(純度95~99.999%)をご紹介!
『Mシリーズ(MNT)』は、装置の小型化・メンテナンス性の向上を追求した装置です。 マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてタッチパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。 小型のオイルフリーコンプレッサを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用することができます。 【特長】 ■設置スペースに合わせてタッチパネル面を選択可能 ■マルチ排気ダクトにより前後左右の4方向への排気が選択可能 ■集約レイアウトによる操作性・メンテナンスの向上 ■静音設計 58dB ■納入後1年もしくは8,000h保証体制 ■新規設計の専用基板の採用 ■法規対象外(第二種圧力容器、高圧ガス保安法等の対象外) ※実際の装置配色は変更になる可能性がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オイルフリーコンプレッサーと酸素濃度センサーを内蔵したPSA酸素ガス発生装置!タッチパネル操作で省スペースで低騒音!
酸素ガス発生装置「ICXシリーズ」は、吸着剤を用いて加圧減圧を繰り返し、特定のガスを取り出す方式のガス発生装置です。 高純度の酸素ガスを選択的に取り出しが可能です! このPSA方式を採用した、酸素ガス・窒素ガス発生装置を豊富に取り揃えています。 溶存酸素(DO)量のアップにより、低酸素状態を改善や工業炉の燃焼効率アップなどの効果が期待できます。 【特長】 ■タッチパネルの簡単操作 ■酸素濃度計内蔵により、常時且つ容易に酸素濃度の管理が可能 ■高吐出圧力(0.2MPa)タイプもラインナップ ■省スペースで低騒音 ■高圧ガス保安法の適応範囲外 ■メンテナンスはエンドユーザー様でも容易に出来ます 水環境、燃焼、農業、バイオ、養殖、オゾン等様々な分野でご活用いただいております。 ※詳細はPDFをダウンロード頂くかお気軽にお問い合わせ下さい。
インライン方式でのサイクルタイム短縮と高生産性を実現!高品質なはんだ付け装置SYNCHRODEXの強化版
『SYNCHRODEX PRO』は、インライン生産方式に対応する部分はんだ付け装置です。 ラージフレームとスタンダードフレームの2種類の筐体 ツインバス仕様に変更可能 各モーター軸にはDCサーボを使用 はんだ槽とポンプは機械式(インペラ)と電磁誘導式を交換可能 はんだ槽のモジュール内にもオプションで下面IRプリヒータを搭載可能 #部分はんだ付け装置 #局所はんだ付け装置 #セレクティブ #ポイントディップ
自動車パーツやプロペラ等の表面改質をさらに高速に!大面積・3D表面改質に対応
当社で取り扱っている「低温プラズマ発生器」の応用例をご紹介いたします。 大面積表面改質・3D表面改質・炭素固定(人口光合成)などが可能な 大気圧ナノプラズマ、放射性物質除去・廃液処理などが可能な ソリューションナノプラズマを発生させることができます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【大気圧ナノプラズマ】 ■大面積表面改質 ■3D表面改質 ■炭素固定(人工光合成)など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。