プラズマ関連製品 RFプラズマ源 ERFS-501
ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験等にご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。
- 企業:アリオス株式会社
- 価格:応相談
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ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験等にご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。
自動車パーツやプロペラ等の表面改質をさらに高速に!大面積・3D表面改質に対応
当社で取り扱っている「低温プラズマ発生器」の応用例をご紹介いたします。 大面積表面改質・3D表面改質・炭素固定(人口光合成)などが可能な 大気圧ナノプラズマ、放射性物質除去・廃液処理などが可能な ソリューションナノプラズマを発生させることができます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【大気圧ナノプラズマ】 ■大面積表面改質 ■3D表面改質 ■炭素固定(人工光合成)など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。