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高周波化を実現！高密度低温プラズマ応用に好適な発生器をご紹介
高密度低温プラズマ応用に向けた、低温プラズマ発生器の事例を ご紹介いたします。 小型卓上型から大電力ラック型まで幅広く対応しており、高周波印加により 大きなプラズマを安定して発生可能です。 新次元の低温プラズマを切り開き、高dV/dtを有する矩形波パルス発生にも 対応可能です。 【製品特長】 ■小型卓上型から大電力ラック型まで幅広く対応 ■高周波印可により大きなプラズマを安定して発生可能 ■高dV/dtを有する矩形波パルス発生にも対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
卓上で簡単に液中プラズマ（ソリューションプラズマ）を用いた実験が可能です。
栗田製作所の独自技術による安定した水中放電を実現しました。 アーク機構が必要ないため、シンプルな構造です。 CNT（カーボンナノチューブ）の水溶液への溶解も可能になり、新たな材料の創出が可能です。 本電源は、愛知ナノテクものづくりクラスター成果活用促進事業にも採用された実績があります。
ICPタイプのRF高密度プラズマにより各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験等にご使用頂けます。
プラズマ室は石英製になっており、また無電極放電により金属コンタミの少ないプロセスが可能です。活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビーム等を得ることができます。
ナノ材料の合成専用、10,000℃無害化処理、処理性能100%アップ
●超高温10,000℃で高融点材料の溶解、先端技術・極材料の合成、難処理物質の無害化や分解ができます。 ●汎用性が高く、低コストな交流電源仕様。 ●広いアーク領域で一度に多くの合成・分解処理が可能。 ●滞留時間が長いため熱効率が高く省エネルギー。 ●試験機から生産機スケールまで対応。設計、システム構築、メンテナンスまでトータルにバックアップ。
高周波化によりプラズマのエネルギーが増大！大量処理設備のコストダウン化が可能
廃液処理などの大量処理設備に向けた、液中プラズマ応用の事例を ご紹介いたします。 従来は安定したプラズマ発生が困難でしたが、当社の技術により 高周波化することで、高速水流下でも安定したプラズマが発生できます。 高周波化によりプラズマのエネルギーが増大し、約1トン/hrの水流における 廃液処理などのコストダウン化が可能です。 【液中プラズマ応用例】 ■高周波化する事により、高速水流下でも安定したプラズマが発生できる ■高周波化により、プラズマのエネルギーが増大 廃液処理などの大量処理設備のコストダウン化が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
自動車パーツやプロペラ等の表面改質をさらに高速に！大面積・3D表面改質に対応
当社で取り扱っている「低温プラズマ発生器」の応用例をご紹介いたします。 大面積表面改質・3D表面改質・炭素固定(人口光合成)などが可能な 大気圧ナノプラズマ、放射性物質除去・廃液処理などが可能な ソリューションナノプラズマを発生させることができます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【大気圧ナノプラズマ】 ■大面積表面改質 ■3D表面改質 ■炭素固定(人工光合成)など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
