低温プラズマ発生装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【低温プラズマ発生器応用例】高密度低温プラズマ

高周波化を実現！高密度低温プラズマ応用に好適な発生器をご紹介

高密度低温プラズマ応用に向けた、低温プラズマ発生器の事例を ご紹介いたします。 小型卓上型から大電力ラック型まで幅広く対応しており、高周波印加により 大きなプラズマを安定して発生可能です。 新次元の低温プラズマを切り開き、高dV/dtを有する矩形波パルス発生にも 対応可能です。 【製品特長】 ■小型卓上型から大電力ラック型まで幅広く対応 ■高周波印可により大きなプラズマを安定して発生可能 ■高dV/dtを有する矩形波パルス発生にも対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。