高純度ガス用圧力調整器『TORR-30シリーズ』
一次室の流路にフィルターを内蔵!減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整器
『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや 室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける 高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用 圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
- 価格:応相談