一次室の流路にフィルターを内蔵！減圧後の設備に幅広く使用可能な圧力調整器
『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや 室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける 高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【性能】 ■入口側最高使用圧：5MPa ■出口側最高使用圧：1.0MPa ■最大流量：300L/min（nor)（P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS） ■使用温度：-5～40℃ ■重量：1.1kg ■内蔵フィルター濾過度：20μm ■出入口ポート口径：1/4" ■外部リーク量 ・1.3×10^-9Pa・m3/sec以下（ネジ式接続) ・1.3×10^-10Pa・m3/sec以下（溶接接続) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
日酸TANAKA株式会社は、オリジナル技術を核として、顧客が満足する製品とサービスを提供することにより、切断、溶接、ガス制御のトータルソリューションを目指しています。 長年の実績と独自の技術を活かし、お客様のニーズにお応えする、レーザ切断機、プラズマ切断機、ガス切断機、その他様々な製品の開発とラインナップを目指し、昨日の夢を今日の現実として産業界に貢献しています。