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PVDシステム - メーカー・企業と製品の一覧

PVDシステムの製品一覧

1~2 件を表示 / 全 2 件

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CARBOZENハイブリッドPVDシステム

製膜スピードUP&高い密着性!導入コストや維持費も低いDLCコーティング装置

『CARBOZEN ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア・プログラムで  カンタンに半自動・全自動で工程制御が可能 ■コーティング工程中の作業内容を自動記録 ■コーティングの全工程をデータ化 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • プラズマ発生装置
  • CVD装置
  • プラズマ表面処理装置

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TRIBUS SYSTEM社製 PVDシステム

Enduraを知り尽くした会社が提案する新たなPVD装置

TRIBUS SYSTEM社はアプライドマテリアル社製EnduraⓇPVDシステムのリファービッシュ専門会社であるSemicat社の子会社です。同社は2020年に設立し、Semicatで培った知識・経験を基に独自開発のPVDシステム(SURPASS P200Ⓡ)を2021年より製造・販売をしております。従来のPVDシステムと比較致しまして、スループットやソフトの操作性・柔軟性が向上しており、半導体製造主要国の会社様でのご採用が加速しております。

  • スパッタリング装置

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