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ダブルリングマグネトロンDRM400を搭載したPVD装置
独scia Systems GmbH（スキアシステムズ社）は、独Roth&Rau AG, MicroSystems GmbHのイオンビームトリミング（トリミング加工、IBF）装置IonScan装置のソフトウエア、ハードウエハを開発した主要なスタッフにて設立されました。スキアシステムズ社はユニークで且つ独自の最先端のイオンビームやプラズマ技術を開発し、研究開発装置から量産向け装置を取り扱っております。
シングル・マルチカソード対応！グローブボックスとのインテグレーションも可能
『MAGNION、FLARION、EVADシリーズ』は、卓上薄膜蒸着及び プラズマ装置です。 マグネトロンスパッタPVD装置は、シングル・マルチカソード対応。 熱蒸着装置は、有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・ セル(K-セル)で、グローブボックスとのインテグレーションも可能です。 【特長】 ■マグネトロンスパッタPVD装置：シングル・マルチカソード ■熱蒸着装置：有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・セル(K-セル) ■グローブボックスとのインテグレーションも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
