CD-SEM
圧倒的なシェアを誇るCDSEM、日立S8000＆S9000シリーズ。装置は常時在庫保有、デモ体制完備しております。
【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ 小口径・化合物ウェハ対応改造 ■ SMIF→オープンカセット改造 ■ 複数ウェハタイプ（トレイ使レイ使用）改造 【定期メンテナンス】 ■ チップ交換 【移設業務】 ■ 構内移設 ■ 工場移設 【トラブル対応】
SEM装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
SEM装置の製品一覧
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【分析事例】リチウムイオン二次電池電極の三次元的観察
Slice and Viewによる充填度・ボイドの観察
リチウムイオン二次電池の電極は、正極・負極ともに活物質・導電助剤・バインダから構成されています。 電池の容量や信頼性等の特性には、材料の組合せや配合比・活物質の充填度・ボイド等が大きく影響していますが、このうち、充填度やボイドを観察する方法として完全ドライ雰囲気で加工・観察が出来るFIB-SEM観察が非常に有効です。更に三次元的な観察(Slice & View)を行うことで電極の様子を直接的に評価することが出来ます。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
