アライナ×ウシオライティング株式会社 - 企業1社の製品一覧

両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。

• 企業：ウシオライティング株式会社
• 価格：応相談

• ステッパー