アライナ×ミカサ株式会社 - 企業1社の製品一覧

マスクアライナー

弊社独自の多層膜蒸着マルチミラーランプハウス搭載機

■マルチミラーランプハウス採用により均一性の高い照度分布。 ■各種自動機構部採用により操作性が向上したセミオートでの使用も可能。 ■アライメント顕微鏡は三眼鏡筒を採用。モニターでのアライメントも可能(オプション)。

• 企業：ミカサ株式会社 本社・大阪営業所
• 価格：1000万円 ~ 5000万円

• その他半導体製造装置