HIWINウエハアライナー
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。 内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。 インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
