ウェーハインスペクション装置 (MWL-01型)
ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。 ・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。 ・工場HOSTとの通信対応も可能です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
