プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』
2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献
『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、 残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。 自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や ウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。 プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、 高いスループットを実現しています。 【特長】 ■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコンパクト設計 ■分布はウエハ内±5％以下 ■SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハにも対応 ■Arプラズマクリーニングもオプションでご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社昭和真空
- 価格：応相談
